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詳細(xì)介紹
詳情介紹：
1200℃三溫區(qū)3路質(zhì)量供氣低真空CVD系統(tǒng)管式爐采用高清真彩觸控屏操作，簡(jiǎn)單易上手，即使是非專業(yè)人員經(jīng)過(guò)簡(jiǎn)單的培訓(xùn)也可以熟練掌握儀器的使用方法，能夠的提高您的實(shí)驗(yàn)效率。
系統(tǒng)所配有的三路質(zhì)量流量計(jì)，精度高可靠性強(qiáng)，可以準(zhǔn)確混合1~3路氣體，操作面板采用數(shù)字顯示，直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯(lián)系技術(shù)人員定制任意數(shù)量的氣路。
技術(shù)參數(shù)： 真 空 管 式 爐 產(chǎn)品型號(hào) CY- O1200-50IIIT 爐管材質(zhì) 高純石英 爐管直徑 50mm（可選配60mm、80mm、100mm） 爐管長(zhǎng)度 1300mm 爐膛長(zhǎng)度 1060mm 加熱區(qū)長(zhǎng) 300mm+300mm+300mm 工作溫度 0～1100℃ 控溫精度 ±1℃ 控溫模式 30段或50段程序控溫 顯示模式 LCD 密封方式 304不銹鋼真空法蘭 法蘭接口 1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 可抽真空 4.4E-3Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz 供 氣 系 統(tǒng) 產(chǎn)品型號(hào) CY-3Z 氣體通道 3通道 測(cè)量部件 氣體質(zhì)量流量計(jì) 測(cè)量量程 A通道：0～100SCCM H2氣 備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時(shí)需要特別注明?？筛鶕?jù)客戶的具體要求來(lái)選配對(duì)應(yīng)的氣體種類和量程的流量計(jì)。 B通道：0～300SCCM N2氣 C通道：0～500SCCM Ar氣 測(cè)量精度 ±1.0%F.S 管道耐壓 3MPa 工作壓差 50～300KPa 連接管道 304不銹鋼 控制閥門(mén) 304不銹鋼針閥 接口規(guī)格 進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 供電電源 AC:220V 50/60Hz 排 氣 系 統(tǒng) 機(jī)械泵 旋片泵 抽氣速率 1.1L/S 排氣接口 KF16 真空測(cè)量 電阻規(guī) 極限真空 1.0E-1Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz 抽氣接口 KF16
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