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詳細介紹
詳情介紹：
1500℃單溫區(qū)3路質量流量計高真空CVD系統(tǒng)爐管采用高純氧化鋁制成，爐體采用一體式設計，*的設計能夠保證系統(tǒng)在1500℃運行穩(wěn)定安全，加熱元件采用高品質硅碳棒，能夠達到1500℃高溫，若客戶有需求可以定制硅鉬棒加熱元件以達到更高的1700℃高溫。
系統(tǒng)所配有的三路質量流量計，精度高可靠性強，可以準確混合1~3路氣體，操作面板采用數字顯示，直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯系技術人員定制任意數量的氣路。本系統(tǒng)還配有精密分子泵組，可以達到1.0E-3pa級別的真空度，較普通機械泵可以為用戶提供更純凈嚴苛的實驗環(huán)境。
適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實驗。
技術參數：
真 空 管 式 爐 產品型號 CY-T1500-60IT 爐管材質 高純氧化鋁 爐管直徑 60mm(可選配50mm、80mm、100mm) 爐管長度 1000mm 爐膛長度 400mm 加熱區(qū)長 300mm 恒溫區(qū)長 150mm 工作溫度 ≤1450℃ 控溫精度 ±1℃ 控溫模式 30段或50段程序控溫 顯示模式 LCD 密封方式 304不銹鋼真空法蘭 法蘭接口 1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 可抽真空 4.4E-3Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz 供 氣 系 統(tǒng) 產品型號 CY-3Z 氣體通道 3通道 測量部件 氣體質量流量計 測量量程 A通道：0～100SCCM H2氣 備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時需要特別注明?？筛鶕蛻舻木唧w要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。 B通道：0～300SCCM N2氣 C通道：0～500SCCM Ar氣 測量精度 ±1.0%F.S 管道耐壓 3MPa 工作壓差 50～300KPa 連接管道 304不銹鋼 控制閥門 304不銹鋼針閥 接口規(guī)格 進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 供電電源 AC:220V 50/60Hz 排 氣 系 統(tǒng) 產品型號 CY-GZK103-A 分子泵 CY-600 前極泵 旋片泵 抽氣速率 分子泵：600L/S 綜合抽氣性能：20分鐘真空度可達：1.0E-3Pa 旋片泵：1.1L/S 抽氣接口 KF40 排氣接口 KF16 真空測量 復合真空計：電阻規(guī)+電離規(guī) 極限真空 1.0E-5Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz
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