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等離子增強CVD系統(tǒng)由等離子發(fā)生器，三溫區(qū)管式爐、單溫區(qū)管式爐、射頻電源、真空系統(tǒng)組成。等離子增強CVD系統(tǒng)為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應(yīng)，因而這種CVD稱為等離子體增強化學(xué)氣相沉積法（PECVD）， 該PECVD石墨烯薄膜制備設(shè)備借助13.56Mhz的射頻輸出等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在真空腔體內(nèi)形成等離子體，利用等離子的強化學(xué)活性，改善反應(yīng)條件，利用等離子體的活性來促進反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。
等離子增強CVD系統(tǒng)適用范圍：
等離子增強CVD系統(tǒng)可以用于：石墨烯制備、硫化物制備、納米材料制備等多種試驗場所?？稍谄瑺罨蝾愃菩螤顦悠繁砻娉练eSiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、納米硅、SiC、類金剛石等多種薄膜，并可沉積p型、n型摻雜薄膜。沉積的薄膜具有良好的均勻性、致密性、粘附性、絕緣性。廣泛應(yīng)用于、高精模具、硬質(zhì)涂層、高duan裝飾等領(lǐng)域。
等離子增強CVD系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：
三 溫 區(qū) 管 式 爐 | 產(chǎn)品型號 | CY-O1200-50IIIT |
爐管材質(zhì) | 高純石英 | |
爐管直徑 | 50mm | |
爐管長度 | 2830mm | |
爐膛長度 | 660mm | |
加熱區(qū)長 | 200mm+200mm+200mm | |
工作溫度 | 0～1100℃ | |
控溫精度 | ±1℃ | |
控溫模式 | 30段或50段程序控溫 | |
顯示模式 | LCD | |
密封方式 | 304不銹鋼真空法蘭 | |
法蘭接口 | 1/4英寸卡套接頭，KF16/25/40接頭 | |
可抽真空 | 4.4E-3Pa | |
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | |
單 溫 區(qū) 管 式 爐 | 產(chǎn)品型號 | CY-O1200-50IT |
爐管材質(zhì) | 高純石英 | |
爐管直徑 | 50mm | |
爐管長度 | 2830mm | |
爐膛長度 | 440mm | |
加熱區(qū)長 | 400mm | |
恒溫區(qū)長 | 200mm | |
工作溫度 | 0～1100℃ | |
控溫精度 | ±1℃ | |
控溫模式 | 30段或50段程序控溫 | |
顯示模式 | LCD | |
密封方式 | 304不銹鋼真空法蘭 | |
法蘭接口 | 1/4英寸卡套接頭，KF16/25/40接頭 | |
可抽真空 | 4.4E-3Pa | |
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | |
RF 輸 出 系 統(tǒng) | 功率范圍 | 0~500W可調(diào) |
工作頻率 | 13.56MHz+0.005% | |
工作模式 | 連續(xù)輸出 | |
顯示模式 | LCD | |
匹配阻抗模式 | 能夠匹配，起輝均勻布滿三溫區(qū)爐管 | |
功率穩(wěn)定度 | ≤2W | |
正常工作反射功率 | ≤3W | |
放大反射功率 | ≤70W | |
諧波分量 | ≤-50dBc | |
整機效率 | ≥70% | |
功率因素 | ≥90% | |
供電電壓/頻率 | 單相交流（187V~153V） 頻率50/60Hz | |
控制模式 | 內(nèi)控/PLC 模擬量/RS232/485通訊 | |
電源保護設(shè)置 | DC過流保護，功放過溫保護，反射功率保護 | |
冷卻方式 | 強制風(fēng)冷 | |
起輝長度 | 在Ar下射頻電源與線圈配合起輝輝光能布滿三個溫區(qū)的爐體長度 | |
供 氣 系 統(tǒng) | 四路質(zhì)子流量計 | 質(zhì)子流量計 |
流量范圍 | MFC1量程：0~200sccm MFC2量程：0~200sccm MFC3量程：0~500sccm MFC4量程：0~500sccm 分別對應(yīng)氣體H2、 CH4、 N2、 Ar、 | |
測量精度 | ±1.5%F.S | |
重復(fù)精度 | ±0.2%FS | |
線性精度 | ±1%F.S. | |
響應(yīng)時間 | ≤4s | |
工作壓力 | -0.15Mpa~0.15Mpa | |
流量控制 | 液晶觸摸屏控制，數(shù)字顯示，每路氣體含有針閥單獨控制 | |
進氣接口 | 可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管 | |
出氣接口 | 可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管 | |
連接方式 | 雙卡套接頭 | |
工作溫度 | 5~45℃ | |
氣體預(yù)混 | 配氣體預(yù)混裝置 | |
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | |
排 氣 系 統(tǒng) | 機械泵 | 旋片泵 |
抽氣速率 | 1.1L/S | |
排氣接口 | KF16 | |
真空測量 | 電阻規(guī) | |
極限真空 | 1.0E-1Pa | |
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | |
抽氣接口 | KF16 | |
軌道 | 軌道長度 | 3米，能實現(xiàn)三溫區(qū)爐子一個爐位長度的滑動，實現(xiàn)快速升降溫 |
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