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詳細(xì)介紹
詳情介紹：
加熱型旋轉(zhuǎn)涂覆儀采用全鋁合金腔體，美觀堅(jiān)固。儀器采用**的精密電機(jī)，轉(zhuǎn)速能達(dá)到10000轉(zhuǎn)/分，有效的保障了成膜的均勻性。除了基本的旋涂功能，本品還配有加熱組件，可以加熱到200℃，由智能溫控表控溫，溫度測定準(zhǔn)確，升溫過程*可控。另外本儀器采用觸控屏控制，可以預(yù)設(shè)勻膠曲線，大大簡化了使用過程降低了學(xué)習(xí)成本，十分適合實(shí)驗(yàn)室選購。
加熱型旋轉(zhuǎn)涂覆儀適用范圍：
加熱型旋轉(zhuǎn)涂覆儀可以將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜，主要應(yīng)用于光刻膠旋涂、生物培養(yǎng)基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領(lǐng)域。
加熱型旋轉(zhuǎn)涂覆儀技術(shù)參數(shù)：
| 項(xiàng)目 | 明細(xì) |
旋涂儀 | 供電電壓 | AC220V，50Hz |
轉(zhuǎn)速 | 0~10000rpm | |
加速度 | 100~5000rpm/s | |
轉(zhuǎn)速分辨率 | 1rpm | |
單步時(shí)間 | 3000s | |
基片尺寸 | 直徑≤8英寸（200mm） | |
腔體材質(zhì) | 鋁合金 | |
加熱溫度 | ≤200℃ | |
控溫方式 | AIP智能控溫 | |
操作方式 | 7寸高清LCD觸控屏 | |
滴膠方式 | 手動(dòng)滴膠，可選購精密注射泵 | |
勻膠曲線 | 每條曲線5段，共可儲(chǔ)存5條曲線 | |
抽氣接口 | φ6mm 快擰接口 | |
整機(jī)尺寸 | 290mm×365mm×300mm | |
整機(jī)重量 | 12kg | |
排氣系統(tǒng) | 真空泵 | 干式機(jī)械泵 |
抽氣速率 | 50L/min | |
供電電源 | AC220V 50/60Hz |
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