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等離子濺射蒸發(fā)二合一鍍膜儀

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更新時間:2020-12-31 20:30:32瀏覽次數(shù):359

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產(chǎn)品簡介

簡單介紹: CY-EVS180G-LV二合一鍍膜儀,可用于電子產(chǎn)品、玻璃、陶瓷樣品、金屬等樣品的鍍膜。尤其適合實驗室SEM(掃描電鏡)的樣品制備。設(shè)備主要由石英真空室、等離子濺射靶,蒸發(fā)鍍膜裝置,放置樣品的樣品臺,真空泵機組、真空測量規(guī)管,進氣系統(tǒng)和控制系統(tǒng)組成。設(shè)備主機采用觸摸顯示屏操作,溫控表檢測。其數(shù)字化參數(shù)界面和自動......

詳細介紹

詳情介紹:

樣品臺

φ80mm

至蒸發(fā)源間距

20mm~50mm可調(diào)

φ80mm

直流濺射頭

數(shù)量

2" x1

 

 

蒸發(fā)系統(tǒng)

蒸發(fā)源

鎢絲籃

*高溫度

1700

 

熱電偶

S型熱電偶

 

 

真空腔體

腔體尺寸

φ180mm X 150mm

觀察窗口

全向透明

 

腔體材料

高純石英

開啟方式

頂蓋拆卸式

真空系統(tǒng)

機械泵

GHD-031B

抽氣接口

KF16

 

真空測量

電阻規(guī)

排氣接口

KF16

 

極限真空

10E-1Pa

供電電源

AC;220V 50/60Hz

 

抽氣速率

旋片泵:4L/S

濺射電源配置

數(shù)量

直流電源 x1

*大輸出功率

150w

 

其他

供電電壓

AC220V,50Hz

整機尺寸

500 X 350 X 400mm

 

整機功率

1.5kw

整機重量

15kg

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