詳細(xì)介紹
CYKY-MSM-4CZ 4電弧提拉法單晶生長爐 | |
腔體 | 1、采用304不銹鋼腔體,帶有水冷夾層,可通入冷卻水 2、腔體上安裝有石英窗口,以便觀察樣品 3、腔體真空度:10-5Torr(采用分子泵) 4、腔體尺寸:Φ257*360mm |
真空計(jì) | 1、腔體上安裝有數(shù)顯防腐真空計(jì)和機(jī)械壓力表 |
電弧槍 | 1、共有4個(gè)電弧槍,可讓樣品得到均勻的溫場(電弧槍都帶有冷卻水) 2、鎢電極直徑為Φ4mm 3、電弧腔體對樣品的角度和距離可手動(dòng)調(diào)節(jié) 4、起弧電源: 18 V / 185 A 電壓380V 5、熔煉溫度可達(dá)3000℃
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樣品臺 | 1、采用水冷銅坩堝 2、可投入樣品量為60g(按鐵計(jì)算) |
提拉機(jī)構(gòu) | 1、控制器控制提拉機(jī)構(gòu)的提拉速度,轉(zhuǎn)速和轉(zhuǎn)速 2、提拉速度:0.2-10mm/h 3、提拉行程:0-70mm 4、轉(zhuǎn)速:0-40RPM |
控制單元 | 1、可顯示和設(shè)置單晶生長的參數(shù)(起弧電流,提拉桿轉(zhuǎn)速,提拉行程和轉(zhuǎn)速) |
真空泵 | 1、設(shè)備中配有一分子泵系統(tǒng)(機(jī)械泵+渦旋分子泵) 2、抽氣速率:100L/S 3、可使設(shè)備腔體的真空度達(dá)到10-5Torr(40分鐘內(nèi)) |
循環(huán)水冷機(jī) | 1、功率:800W 2、水流速度:58L/min 3、制冷能力:5004W(17500Btu/hour) 4、溫度控制:5~30°C |
設(shè)備尺寸:800mm(L)*800mm(W)*1500mm(H) |