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等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀

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  • 等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀

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  • 型號 CY-EVS180S-HV
  • 品牌
  • 廠商性質 其他
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更新時間:2020-12-31 21:11:04瀏覽次數:401

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產品簡介

簡單介紹: 等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發(fā)組件,不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜,也可以用蒸發(fā)的方式得到碳或者其他金屬單質的薄膜。儀器元件高度集成化,在同一個腔體內即實現了兩種鍍膜功能;本鍍膜儀采用304不銹鋼腔體作真空腔體,鍍膜過程*可見。儀器標配雙極旋片真空泵,能夠快速達到1.0E-3Pa的真空度,極限......

詳細介紹

詳情介紹:

離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀適用范圍:

掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作,以及非導體材料試驗電極的制作等。


離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀技術參數:

供電電壓

AC220V,60Hz

*大功率

1200W

樣品臺

直徑φ65mm;

與蒸發(fā)源間距可調,調節(jié)范圍60mm-100mm

真空腔體

材質:304不銹鋼 O.Dφ168mm x I.Dφ160mm x 210mm

*高溫度

1700℃

熱電偶

B型熱電偶

真空計

電子式真空計

真空系統

前級泵:浦發(fā)MVP030 無油泵   抽速30L/min

次級泵:萊寶TURBOVAC 90iX   抽速90L/s

真空接口

KF40

進氣接口

1/4卡套接頭

整機尺寸

500x350x400mm





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