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旋轉(zhuǎn)PECVD
本產(chǎn)品為等離子增強(qiáng)回轉(zhuǎn)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（旋轉(zhuǎn)PECVD），爐管采用變徑設(shè)計(jì)，中部管徑較粗且有有混料隔板，能夠隨著爐管的旋轉(zhuǎn)將粉體或者顆粒反復(fù)混合，通過機(jī)械傳動(dòng)控制工作管能360°不間斷旋轉(zhuǎn)，使得管內(nèi)物料攪拌混合獲得均勻受熱效果；設(shè)備另配有等離子發(fā)生裝置，采用電感耦合與爐管連接，產(chǎn)生的等離子能夠滿布爐管，有效的提高反應(yīng)物活化能，降低反應(yīng)溫度，提高反應(yīng)效率。設(shè)備配有三路質(zhì)量流量計(jì)及混氣裝置，可用于向路管內(nèi)通入多種氣體，同時(shí)設(shè)備配有高性能機(jī)械泵，能夠快速將爐管抽至真空；通過泵和氣路的配合可以實(shí)現(xiàn)多種CVD工藝。旋轉(zhuǎn)裝置十分適合在氣氛保護(hù)的環(huán)境下連續(xù)對(duì)粉末材料用CVD方法進(jìn)行包裹和修飾。
技術(shù)參數(shù)
| 雙溫區(qū)管式爐 | 產(chǎn)品型號(hào) | CY-O1200-60IIC-R |
| 設(shè)備功率 | 3KW | |
| 爐管材質(zhì) | 高純石英 | |
| 爐管尺寸 | Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm（石英異型管） | |
| 爐膛長(zhǎng)度 | 440mm | |
| 加熱區(qū)長(zhǎng) | 200mm+200mm | |
| 工作溫度 | 0～1150℃ | |
| 極限溫度 | 1200℃ | |
| 控溫精度 | ±1℃ | |
| 熱電偶類型 | K型熱電偶 | |
| 控溫模式 | 30段程序控溫，PID參數(shù)自整定 | |
| 顯示模式 | 高清全彩LCD觸控屏 | |
| 密封方式 | 304不銹鋼真空法蘭 | |
| 供電電源 | AC:220V 50/60Hz | |
| 旋轉(zhuǎn)速度 | 0~13rpm | |
| 傾斜角度 | 0~35° | |
| 3路質(zhì)量流量計(jì) | 產(chǎn)品型號(hào) | CY-3Z |
| 氣路數(shù)量 | 3路 | |
| 流量計(jì)類型 | 質(zhì)量流量計(jì) | |
| 測(cè)量范圍 | A路：0~100sccm; B路：0~200 sccm; C路：0~500 sccm | |
| 測(cè)量精度 | ±1.5% | |
| 工作壓差 | 0.1~0.5MPa | |
| 管路接口 | 1/4英寸卡套接頭 | |
| 供電 | AC220V 50/60Hz | |
| 真空系統(tǒng) | 真空泵 | 雙極旋片泵 |
| 抽速 | 1.1L/s | |
| 抽氣接口 | KF16 | |
| 泵極限真空度 | 10E-1Pa | |
| 供電 | AC220V 50/60Hz | |
| 射頻電源 | 信號(hào)頻率 | 13.56MHz±0.005% |
| 功率輸出范圍 | 0~500W | |
| *大反射功率 | 100W | |
| 射頻輸出接口 | 50Ω，N-Type，female | |
| 功率穩(wěn)定度 | ≤5W |
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