迷你石墨烯CVD設(shè)備

迷你石墨烯CVD設(shè)備
本套CVD系統(tǒng)專為石墨烯生產(chǎn)設(shè)計(jì)，采用1200℃迷你管式爐，配有高精度質(zhì)量流量計(jì)以及薄膜真空規(guī)。相比于常規(guī)的皮拉尼電阻規(guī)，薄膜規(guī)的讀數(shù)**，不受氣體種類影響，十分適合真空鍍膜工藝。同時(shí)設(shè)備配有可燃?xì)怏w檢測裝置，聯(lián)動(dòng)出氣口電磁閥，一旦出現(xiàn)泄漏電磁閥即可自行關(guān)閉保證安全。
該套設(shè)備功能**占地面積較小，十分適合實(shí)驗(yàn)室規(guī)模的CVD制備。

特點(diǎn)

1.高精度質(zhì)量流量計(jì)以及薄膜真空規(guī)。

2.可燃?xì)怏w檢測裝置，聯(lián)動(dòng)出氣口電磁閥。

3.體積小巧

4.專為石墨烯生產(chǎn)設(shè)計(jì)

技術(shù)參數(shù)