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PE-HPCVD等離子增強(qiáng)混合物理化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
本產(chǎn)品是一款1200℃等離子增強(qiáng)混合物理化學(xué)氣相沉積（PE-HPCVD)雙溫區(qū)旋轉(zhuǎn)管式爐系統(tǒng)。該設(shè)備包括一臺(tái)雙溫區(qū)管式爐，一套鎢絲蒸發(fā)源，一套等離子發(fā)生裝置以及一套質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng)。其工作原理是通過蒸發(fā)源將反應(yīng)物在進(jìn)氣端蒸發(fā)后通過氣流載入管式爐溫區(qū)內(nèi)進(jìn)行CVD反應(yīng)，同時(shí)通過等離子增強(qiáng)促進(jìn)反應(yīng)的發(fā)生，適用于無機(jī)復(fù)合粉末的熱處理及粉末表面的均勻包覆,如制備鋰離子電池陰極粉末的導(dǎo)電涂層等。
| 雙溫區(qū)管式爐 | 產(chǎn)品型號(hào) | CY-O1200-50IIT | |
| 爐管材質(zhì) | 高純石英 | ||
| 爐管直徑 | 50mm | ||
| 爐管長(zhǎng)度 | 1200mm | ||
| 爐膛長(zhǎng)度 | 440mm | ||
| 加熱區(qū)長(zhǎng) | 200mm+200mm | ||
| 工作溫度 | 0～1100℃ | ||
| 控溫精度 | ±1℃ | ||
| 控溫模式 | 30段或50段程序控溫 | ||
| 顯示模式 | 高清全彩LCD觸控屏 | ||
| 密封方式 | 304不銹鋼真空法蘭 | ||
| 供電電源 | AC:220V 50/60Hz 2.5kW | ||
| RF輸出系統(tǒng) | 功率范圍 | 0~300W可調(diào) | |
| 工作頻率 | 13.56MHz+0.005% | ||
| 工作模式 | 連續(xù)輸出 | ||
| 匹配阻抗模式 | 能夠匹配，起輝均勻布滿爐管 | ||
| 功率穩(wěn)定度 | ≤2W | ||
| 正常工作反射功率 | ≤3W | ||
| 放大反射功率 | ≤70W | ||
| 諧波分量 | ≤-50dBc | ||
| 整機(jī)效率 | ≥70% | ||
| 功率因素 | ≥90% | ||
| 供電電壓/頻率 | 單相交流（187V~153V） 頻率50/60Hz | ||
| 控制模式 | 內(nèi)控/PLC 模擬量/RS232/485通訊 | ||
| 電源保護(hù)設(shè)置 | DC過流保護(hù)，功放過溫保護(hù)，反射功率保護(hù) | ||
| 冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 | ||
| 起輝長(zhǎng)度 | 在Ar下射頻電源與線圈配合起輝輝光能布滿爐管 | ||
| 蒸發(fā)舟 | 工作溫度 | 1300℃ | |
| 蒸發(fā)源 | 鎢絲籃,可選配錐形氧化鋁坩堝 | ||
| 熱電偶 | S型熱電偶 | ||
| 工作電流 | ≤30A | ||
| *大功率 | 500W | ||
| 供氣系統(tǒng) | 流量計(jì) | 四路質(zhì)子流量計(jì) | |
| 流量范圍 | MFC1量程：0~200sccm MFC2量程：0~200sccm MFC3量程：0~500sccm MFC4量程：0~500sccm 分別對(duì)應(yīng)氣體H2、 CH4、 N2、 Ar、 | ||
| 測(cè)量精度 | ±1.5%F.S | ||
| 重復(fù)精度 | ±0.2%FS | ||
| 線性精度 | ±1%F.S. | ||
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤4s | ||
| 工作壓力 | -0.15Mpa~0.15Mpa | ||
| 流量控制 | 液晶觸摸屏控制，數(shù)字顯示，每路氣體含有針閥單獨(dú)控制 | ||
| 進(jìn)氣接口 | 可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管 | ||
| 出氣接口 | 可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管 | ||
| 連接方式 | 雙卡套接頭 | ||
| 工作溫度 | 5~45℃ | ||
| 氣體預(yù)混 | 配氣體預(yù)混裝置 | ||
| 真空系統(tǒng)
| 產(chǎn)品型號(hào) | CY-GZK103-A | |
| 分子泵 | 渦輪分子泵 | ||
| 前極泵 | 雙極旋片泵 | ||
| 抽氣速率 | 分子泵：600L/S | 綜合抽氣性能：30分鐘真空度可達(dá)：5×10E-3Pa | |
| 旋片泵：1.1L/S | |||
| 極限真空 | 5×10E-4Pa | ||
| 抽氣接口 | KF40 | ||
| 排氣接口 | KF16 | ||
| 真空測(cè)量 | 復(fù)合真空計(jì) | ||
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