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詳細介紹
潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。
特點
●工作溫度360℃和500℃、潔凈度100級、氧濃度低于20ppm，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓（光刻膠PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等。
● 采用耐熱高性能高效過濾器，箱內(nèi)潔凈度始終保持在100級，可在潔凈的環(huán)境下進行高溫烘烤。
● 高氣密性的壓力箱構(gòu)造，氧濃度到達時間短，N2消耗量極低。
● 通過磁密封保持高氣密性，并采用水冷機構(gòu)保護密封部件免受熱量影響。
● 可實現(xiàn)快速升溫和降溫，升降溫速率可調(diào)節(jié)。
● 標準裝備有廢液回收裝置，對氣體進行冷卻回收。
● 液晶觸摸屏操作，自動/手動兩種運行模式。
安全性
● 擁有門檢測開關(guān)、溫度過升防止器、氧濃度異常、氮氣壓力檢測、氮氣流量檢測、冷卻水流量檢測、漏水傳感器、過電流漏電保護開關(guān)等安裝裝置。
規(guī)格：
特點
●工作溫度360℃和500℃、潔凈度100級、氧濃度低于20ppm，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓（光刻膠PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等。
● 采用耐熱高性能高效過濾器，箱內(nèi)潔凈度始終保持在100級，可在潔凈的環(huán)境下進行高溫烘烤。
● 高氣密性的壓力箱構(gòu)造，氧濃度到達時間短，N2消耗量極低。
● 通過磁密封保持高氣密性，并采用水冷機構(gòu)保護密封部件免受熱量影響。
● 可實現(xiàn)快速升溫和降溫，升降溫速率可調(diào)節(jié)。
● 標準裝備有廢液回收裝置，對氣體進行冷卻回收。
● 液晶觸摸屏操作，自動/手動兩種運行模式。
安全性
● 擁有門檢測開關(guān)、溫度過升防止器、氧濃度異常、氮氣壓力檢測、氮氣流量檢測、冷卻水流量檢測、漏水傳感器、過電流漏電保護開關(guān)等安裝裝置。
規(guī)格：
型號 | DTN430C | DTN630C | DTN450C | DTN650C | ||||
方式 | 氮氣置換+ 強制送風(fēng)循環(huán) | |||||||
性能 | 使用溫度范圍 | 室溫+50～360℃ | 室溫+50～500℃ | |||||
溫度調(diào)節(jié)精度 | ±0.5℃（at360℃） | ±1.0℃（at500℃） | ||||||
溫度分布精度 | ±5.0℃（at360℃） | ±8.0℃（at500℃） | ||||||
| 約80分鐘 | 約110分鐘 | ||||||
氧濃度 | 20ppm 以下 | |||||||
氧濃度到達時間 | ≤ 20分（250L/min 氮氣） | ≤ 25分（250L/min 氮氣） | ≤ 20分（250L/min 氮氣） | ≤ 25分（250L/min 氮氣） | ||||
潔凈度 | 溫度恒定時100級
| |||||||
構(gòu)成 | 內(nèi)裝 | 不銹鋼板 | ||||||
外裝 | 冷軋鋼板，表面耐藥品性涂裝 | |||||||
斷熱材 | 硅酸鋁棉 | |||||||
加熱方式 | 不銹鋼加熱管 | |||||||
加熱功率 | 主加熱器 | 6.75KW | 9KW | 9.5KW | 14.2KW | |||
N2預(yù)熱 | 1KW | |||||||
冷卻機構(gòu) | 不銹鋼冷卻水換熱器 | |||||||
HEPA過濾器 | 集塵效率：0.3um粒子99.97%以上 | |||||||
控制器 | 溫度控制方式 | PID控制 | ||||||
溫度控制器 | 液晶觸摸屏+PLC | |||||||
運行功能 | 手動定值運行、自動程序運行 | |||||||
程序模式 | 程序運行9個，每個程序可設(shè)置9步（可擴展） | |||||||
附加功能 | 操作員等級認證 | |||||||
加熱器回路控制 | SSR驅(qū)動 | |||||||
傳感器 | K型熱電偶（溫度控制及過升防止器） | |||||||
安全裝置 | 門檢測開關(guān)、過升防止器、氧濃度異常、N2 預(yù)熱溫度過升、水壓低檢測、N2 壓力低檢測、冷卻水流量檢測、N2 流量檢測、 風(fēng)機過載檢測、過電流漏電保護開關(guān)等 | |||||||
規(guī)格 | 內(nèi)尺寸（寬×深×高mm） | 450×450×450 | 660×500×660 | 450×450×450 | 660×500×660 | |||
外形尺寸（寬×深×高mm） | 1090×950×1540 | 1300×1000×1750 | 1240×1010×1750 | 1450×1060×1960 | ||||
內(nèi)容積 | 91L | 216L | 91L | 216L | ||||
棚板層數(shù)/層間距 | 12層/30mm | 19層/30mm | 12層/30mm | 19層/30mm | ||||
排氣口 | 40KF法蘭 | |||||||
氮氣入口 | Rc1/2 | |||||||
冷卻水入口 | Rc3/4 | |||||||
熱水出口 | Rc3/4，2個 | |||||||
電源（50/60Hz）額定電流 | 3相AC380V 16A | 3相AC380V 19A | 3相AC380V 20A | 3相AC380V 27A | ||||
重量 | 約900kg | 約1100kg | 約900kg | 約1100kg | ||||
選購品 | 棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈（待機/ 運行/ 故障）、以太網(wǎng)通信功能 | |||||||
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