光譜橢偏儀

光譜橢偏儀可配置從DUV到NIR的波長(zhǎng)范圍。DUV范圍可用于測(cè)量超薄膜，如納米厚度范圍。比如硅晶片上的原生氧化物，其通常僅為約1至2nm厚。當(dāng)用戶(hù)需要測(cè)量許多材料的帶隙時(shí)，深紫外光譜橢偏儀也是*的?？梢?jiàn)或近紅外范圍用于測(cè)量相對(duì)厚或非常厚的涂層。當(dāng)然，如果必須確定光學(xué)常數(shù)，則應(yīng)將工具的波長(zhǎng)范圍配置為該范圍。其他配置，如波長(zhǎng)分辨率，角度范圍等，將根據(jù)所需的應(yīng)用進(jìn)行考慮。光譜橢偏儀特征：?基于Wi......

光譜橢偏儀可配置從DUV到NIR的波長(zhǎng)范圍。DUV范圍可用于測(cè)量超薄膜，如納米厚度范圍。比如硅晶片上的原生氧化物，其通常僅為約1至2nm厚。當(dāng)用戶(hù)需要測(cè)量許多材料的帶隙時(shí)，深紫外光譜橢偏儀也是*的?？梢?jiàn)或近紅外范圍用于測(cè)量相對(duì)厚或非常厚的涂層。當(dāng)然，如果必須確定光學(xué)常數(shù)，則應(yīng)將工具的波長(zhǎng)范圍配置為該范圍。其他配置，如波長(zhǎng)分辨率，角度范圍等，將根據(jù)所需的應(yīng)用進(jìn)行考慮。

光譜橢偏儀特征：

?基于Window軟件，易于操作；

?的光學(xué)設(shè)計(jì)，實(shí)系統(tǒng)性能；

?高功率DUV-VIS-NIR光源，適用于寬帶應(yīng)用；

?基于陣列的探測(cè)器系統(tǒng)，確?？焖贉y(cè)量；

?用戶(hù)可以根據(jù)需要定義任意數(shù)量的圖層；

?能夠用于實(shí)時(shí)或在線(xiàn)厚度，折射率監(jiān)測(cè)；

?系統(tǒng)配有全面的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)；

?高級(jí)TFProbe 3.3.X軟件允許用戶(hù)對(duì)每個(gè)膠片使用NK表，色散或有效介質(zhì)近似（EMA）；

?三種不同的用戶(hù)級(jí)別控制：工程師模式，系統(tǒng)服務(wù)模式和簡(jiǎn)易用戶(hù)模式；

?靈活的工程模式，適用于各種配方設(shè)置和光學(xué)模型測(cè)試；

?強(qiáng)大的一鍵式按鈕解決方案，用于快速和常規(guī)測(cè)量；

?可按照用戶(hù)偏好配置測(cè)量參數(shù)，操作簡(jiǎn)便；

?系統(tǒng)全自動(dòng)校準(zhǔn)和初始化；

?直接從樣品信號(hào)獲得精確的樣品對(duì)齊接口，無(wú)需外部光學(xué)元件；

?精確的高度和傾斜程度調(diào)整；

?適用于許多不同類(lèi)型的不同厚度的基材；

?各種選項(xiàng)，附件可用于特殊配置，如繪圖階段，波長(zhǎng)擴(kuò)展，焦點(diǎn)等；

?2D和3D輸出圖形以及用戶(hù)數(shù)據(jù)管理界面；

光譜橢偏儀應(yīng)用：

?半導(dǎo)體制造（PR，氧化物，氮化物......）

?液晶顯示器（ITO，PR，Cell gap ......）

?法醫(yī)學(xué)，生物學(xué)材料

?油墨，礦物學(xué)，顏料，調(diào)色劑

?制藥，科研

?光學(xué)涂層，TiO2，SiO2，Ta2O5 ......

?半導(dǎo)體化合物

?MEMS / MOEMS中的功能薄膜

?無(wú)定形，納米和硅晶圓

?太陽(yáng)能電池薄膜，CdTe，CdS，CIGS，AZO，CZTS ....

光譜橢偏儀技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)	SE200 (DUV-Vis)	SE300 (Vis)	SE450 (Vis-Nir)	SE500 (DUV-Vis-Nir)
探測(cè)器類(lèi)型	CCD或CMOS陣列	CCD或CMOS陣列	CCD或CMOS和InGaAs陣列	CCD或CMOS和InGaAs陣列
波長(zhǎng)范圍（nm）	190至1100	370至1100	370-1700	190-1700
波長(zhǎng)點(diǎn)	測(cè)量波長(zhǎng)范圍和波長(zhǎng)數(shù)據(jù)點(diǎn)均在用戶(hù)配方中自定義（數(shù)據(jù)點(diǎn)僅受分辨率限制）
波長(zhǎng)分辨率	0.01 -3nm	0.01 -3nm	0.01至3nm	0.01至3nm
數(shù)據(jù)采集時(shí)間	100毫秒到10秒，用戶(hù)自定義
入射角范圍	20至90度
入射角分辨率	帶手動(dòng)測(cè)角儀的5度預(yù)設(shè)步驟，用于SExxx-BM配置; 程序控制0.001度分辨率，配有自動(dòng)測(cè)角儀，適用于SExxx-BA配置
偏光光學(xué)	旋轉(zhuǎn)偏振器，分析器和/或補(bǔ)償器的組合
光束尺寸	準(zhǔn)直光束，光束尺寸可在1至5mm范圍內(nèi)調(diào)節(jié)光圈; 可選的聚焦光束模式（可拆卸）可用于減小光斑尺寸
光源	（D2 + TH）/氙	TH	TH	（D2 + TH）/氙
燈泡壽命	4000小時(shí)	10000小時(shí)	10000小時(shí)	4000小時(shí)
可測(cè)量的厚度范圍	高達(dá)30μm	20nm至50μm	20nm至50μm	高達(dá)50μm
厚度精度	<1?或0.1％
索引精度	優(yōu)于0.0001
厚度準(zhǔn)確度	優(yōu)于0.25％