詳細(xì)介紹
OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的單溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機(jī)械泵,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),其真空度可達(dá)到 10-2 torr。
技術(shù)參數(shù)
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功率 | 2.5 KW |
電壓 | AC 208-240V 單相, 50/60 Hz |
加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁,表面涂有氧化鋯涂層,可以的延長儀器的使用壽命 |
工作溫度 | 1200℃ |
連續(xù)工作溫度 | 1100℃ |
升溫速率 | <= 20 ℃ |
爐管材質(zhì)和尺寸 | 石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm |
加熱區(qū)長度 | 400 mm |
恒溫區(qū)長度 | 150 (+/-1 ℃) |
控溫系統(tǒng) | PID30段程序化控溫 |
控溫精度 | +/- 1oC |
真空密封系統(tǒng)
| 兩個(gè)不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計(jì)和截止閥),漏氣率6 mtorr/min
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真空泵
| 采用雙旋機(jī)械泵,機(jī)械泵上安裝有進(jìn)口的油污過濾器,可以過濾真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的油煙,減少泵油的損耗,保護(hù)環(huán)境和人體健康,過濾的最小微粒直徑為0.3微米。 |
數(shù)字式真空顯示計(jì)
| 美國進(jìn)口CVM-211,已安裝在不銹鋼法蘭上,測(cè)量范圍為10-4Torr~1000Torr |
混氣系統(tǒng)
| 三個(gè)浮子流量計(jì)(準(zhǔn)確率4%FS) 三路浮子量程分別為 10-100 cc/min. 內(nèi)部安裝有一混氣罐 |
尺寸 | 爐體尺寸: 550 x 380 x 520 mm, 混氣系統(tǒng)尺寸: 600x600x597 mm |
凈重 | 約60kg |
運(yùn)輸重量 | 200 |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期(不包括爐管 、加熱元件和密封圈的損耗件) CE Certificate |