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OTF-1200X-80-I-F3LV 1200℃帶3通道混氣真空管式爐

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更新時(shí)間:2023-01-28 10:02:03瀏覽次數(shù):201

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產(chǎn)品簡介

OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的單溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機(jī)械泵,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),其真空度可達(dá)到10-2torr

詳細(xì)介紹

OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的單溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機(jī)械泵,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),其真空度可達(dá)到 10-2 torr。

技術(shù)參數(shù)


高溫爐殼體

  • 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使得殼體表面溫度小于55
  • 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命

功率

2.5 KW

電壓

AC 208-240V 單相, 50/60 Hz

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁,表面涂有氧化鋯涂層,可以的延長儀器的使用壽命

工作溫度

1200

連續(xù)工作溫度

1100

升溫速率

<= 20

爐管材質(zhì)和尺寸

石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm

加熱區(qū)長度

400 mm

恒溫區(qū)長度

150 (+/-1 )

控溫系統(tǒng)

PID30段程序化控溫

控溫精度

+/- 1oC

真空密封系統(tǒng)

兩個(gè)不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計(jì)和截止閥),漏氣率6 mtorr/min

真空泵

采用雙旋機(jī)械泵,機(jī)械泵上安裝有進(jìn)口的油污過濾器,可以過濾真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的油煙,減少泵油的損耗,保護(hù)環(huán)境和人體健康,過濾的最小微粒直徑為0.3微米。

數(shù)字式真空顯示計(jì)

美國進(jìn)口CVM-211,已安裝在不銹鋼法蘭上,測(cè)量范圍為10-4Torr~1000Torr

混氣系統(tǒng)

三個(gè)浮子流量計(jì)(準(zhǔn)確率4%FS)

三路浮子量程分別為

10-100 cc/min.
16-160 cc/min.
25-250 cc/min

內(nèi)部安裝有一混氣罐

尺寸

爐體尺寸: 550 x 380 x 520 mm, 混氣系統(tǒng)尺寸: 600x600x597 mm

凈重

60kg

運(yùn)輸重量

200

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期(不包括爐管 、加熱元件和密封圈的損耗件)

CE Certificate

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