GSL-1100X-SPC-16M 小型磁控等離子濺射儀

工作電壓

110V or 220V 50/60 Hz

輸出功率

< 2000W (包含真空泵)

輸出電壓

• 1600VDC
• 電流：50mA

樣品室

石英罩： 160 mm Dia. x 120mm Height

樣品載物臺

• 一個外徑50 mm 樣品載物臺
• 濺射面積: 45 mm

配件包括

• 儀器中包含有一直聯(lián)式雙旋機(jī)械泵，可使反應(yīng)腔體真空度達(dá)到10-2 torr
• 用一個KF25的波紋管把真空泵和儀器相連接
• 可以選購一個循環(huán)水冷機(jī)16L/min

可通入氣體

通過針閥通入氬氣，能實(shí)現(xiàn)更好的等離子涂層

靶材

• 標(biāo)配靶材：
• 包含：Au target: 50 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs
  
• 可選靶材: Pt target (47mm dia.x0.12mm, 4N)
  Ag target (47 mm dia. x 0.5mm, 4N)

外形尺寸

L360mm x W300mm x H380mm

重量

50 kg

質(zhì)保期和質(zhì)量認(rèn)證

一年質(zhì)保期，終身維護(hù)

CE Certified