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VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀

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  • VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀

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更新時(shí)間：2023-01-31 09:47:53瀏覽次數(shù)：222

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VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認(rèn)證的等離子薄膜濺射儀，基片尺寸2英寸，加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式

詳細(xì)介紹

VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認(rèn)證的等離子薄膜濺射儀，基片尺寸2英寸，加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類(lèi)型的靶材 和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，可以依次在同一樣品上涂覆三種材料，金靶，鋁，銅, 它可以與真空泵，不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用.

技術(shù)參數(shù)

輸入功率
  • 110V / 220V 通用
  • < 2000W (含真空泵)

輸出功率
  • 1600VDC
  • 電流50mA

樣品室

石英罩： 160 mm Dia. x 120mm Height

加熱樣品臺(tái)
  • 一個(gè)外徑50 mm 的樣品臺(tái), 可以移動(dòng)三個(gè)位置
  • 基片可以放在樣品臺(tái)上. 加熱溫度 500°C
  • PID控溫方式和觸摸屏面板，控溫精度+/-1°C

控制面板
  • 控制面板為PLC，6" 觸摸屏
  • 一個(gè)控制面板可以控制所有的參數(shù),包括真空度 , 電流 , 靶材位置 和 基片加熱溫度

可選
  • KF25 真空接口、卡箍，和600mm長(zhǎng)不銹鋼波紋管
  • 120L/M旋片式真空泵（包含在儀器內(nèi)）
  • Vapor trap eliminates the oil mist
  • 不銹鋼波紋管與KF-25真空接口相連接
  • 高純度金箔靶
  • 需要一個(gè)帶壓力調(diào)節(jié)器的氬氣瓶 （這個(gè)我們不提供）

進(jìn)氣口

一個(gè)針閥安裝在進(jìn)氣口,以實(shí)現(xiàn)更好的等離子涂層



靶材

標(biāo)配靶材分別有

  • 金，銀，銅 靶材:
  • 尺寸: 47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs
  • 可選靶材點(diǎn)擊鏈接、
    Pt , Ag target , Zinc tarhet

外形尺寸

  • 360mm × 350mm × 360mm (L×W×H)
  • 凈重:50KG

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，終身維護(hù)。

質(zhì)量認(rèn)證

Certified

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