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OTF-1200X-II-80HG 雙溫區(qū)濕度可控氫氣熱處理爐

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更新時間:2023-02-02 08:35:16瀏覽次數(shù):329

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產(chǎn)品簡介

OTF-1200X-II-HG是一款雙溫區(qū)濕度可控氫氣熱處理爐,此設(shè)備帶有兩通道氣體控制器,氣液混合罐,露點儀和氫氣探測器,此設(shè)備專門設(shè)置對材料進行濕氫處理,以達到材料表面部分氧化,同時也進行各種CVD實驗

詳細介紹

OTF-1200X-II-HG是一款雙溫區(qū)濕度可控氫氣熱處理爐,此設(shè)備帶有兩通道氣體控制器,氣液混合罐,露點儀和氫氣探測器,此設(shè)備專門設(shè)置對材料進行濕氫處理,以達到材料表面部分氧化,同時也進行各種CVD實驗。精密露點儀測量精度可以達到 +/-1.5%RH。若有實驗中發(fā)生氫氣微露現(xiàn)象(氫氣爆炸點的10%),3M公司的氫氣探測器將發(fā)生報警信號,使整個實驗在安全的環(huán)境下進行。

技術(shù)參數(shù)

爐體結(jié)構(gòu)

  • 雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使得殼體表面溫度小于60
  • 采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,并且表面涂有美國進口的1760度高溫氧化鋁涂層(可延長設(shè)備使用壽命和提高加熱效率)
  • 開啟式爐體設(shè)計,方便更換爐管
  • 儀器包括氫氣探測器和蜂鳴報警器,達到安全實驗
  • 帶有氣液混合罐,并套有加熱環(huán),控制器控制升降溫

功率

4KW

輸入電壓

AC 208 - 240V 單相 (需要30A 的空氣開關(guān) )

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁(電阻絲的表面涂有美國進口的高溫氧化鋯涂層,可以提高加熱元件的使用壽命)

加熱區(qū)長度

  • 兩個溫區(qū),每個溫區(qū)長度為200mm,
  • 總溫區(qū)長度:400mm
  • 恒溫區(qū):200mm(兩個溫區(qū)可設(shè)置同樣的溫度)

工作溫度

1200℃(小于1小時)

連續(xù)工作溫度

1100℃

建議升溫速率

10°C /min

爐管和法蘭

  • 高純石英管:Φ50 (OD)×Φ44 (ID) ×1000 L, mm
  • Φ60 (OD)×Φ54 (ID) ×1000 L, mm
  • Φ80 (OD)×Φ74 (ID) ×1000 L, mm
  • Φ100 (OD)×Φ94 (ID) ×1000 L, mm
  • 304不銹鋼法蘭,上面安裝有機械壓力表和針閥,爐管內(nèi)真空度可以達到10 - 5 torr(采用分子泵)

溫控系統(tǒng)

  • 兩個溫區(qū)分別由兩個控溫儀表獨立控制,可設(shè)置30段升降溫程序。
  • 采用PID方式控制升降溫
  • 帶有過熱和斷偶保護
  • 控溫精度+/- 1 ºC
  • 爐體面板上有RS485接口,可額外在本公司購買控溫軟件,可將升溫程序和溫度曲線導(dǎo)入到電腦中。

氣體控制

  • 安裝有兩個50-500ml/min浮子流量計,控制進氣流量
  • 一個浮子流量計直接與法蘭相連接,可通入干燥的氫氣進入爐管
  • 另一個浮子流量計與氣液混合罐,可通入濕氫進入爐管中。
  • 可在本公司選購質(zhì)量流量計控制系統(tǒng),可以更精確地控制氣體流量。

氣液混合罐

  • 一個304不銹鋼混合罐,容積為600ml( 80OD x 200H, mm)
  • 混合罐放置在一個加熱環(huán)中

露點儀

  • 一個精密的露點儀,帶有KF25接頭
  • 測量范圍:0 - 99% RH (精度為1.5%FS),-60º ~ +60º DP(精度+/-0.3º
  • 可調(diào)試混合罐的溫度和氫氣流量來調(diào)節(jié)水分含量

氫氣探測器

  • 工作溫度:-18ºC - 65ºC
  • 報警點:氫氣爆炸點的10%

儀器尺寸

1400×600×1200mm

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期(不包括爐管,密封圈和加熱元件等易耗件)

質(zhì)量認證

CE Certified

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