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參考價(jià)	面議

產(chǎn)品簡介

OTF-1200X-4-RTP-HV是一款精巧型快速熱處理管式爐(4石英管)，配有高真空系統(tǒng)（機(jī)械泵+分子泵)，帶KF-D25真空法蘭.它是專為半導(dǎo)體或太陽能電池基片（達(dá)3）的退火而設(shè)計(jì)，采用10KW紅外燈管加熱，升溫速度為120C/second.30段溫度控制，精度為+/-1C.計(jì)算機(jī)通過RS485口和控制軟件實(shí)時(shí)控制爐子和顯示溫度曲線

詳細(xì)介紹

OTF-1200X-4-RTP-HV是一款精巧型快速熱處理管式爐(4" 石英管)，配有高真空系統(tǒng)（機(jī)械泵 +分子泵) ，帶KF-D25 真空法蘭.它是專為半導(dǎo)體或太陽能電池基片（達(dá)3“）的退火而設(shè)計(jì)，采用10KW紅外燈管加熱，升溫速度為 120°C/second. 30 段溫度控制，精度為 +/-1°C. 計(jì)算機(jī)通過RS485口和控制軟件實(shí)時(shí)控制爐子和顯示溫度曲線。

技術(shù)參數(shù)

爐子

結(jié)構(gòu)

Compact 4“ RTP Tube Furnace（雙層莫來石鋼構(gòu))
內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命

加熱元件

8根紅外燈管(D=10 L=300 T =200, mm)

工作溫度

1100°C
爐子可以加熱到1100°C, 可以打開上蓋進(jìn)行快速冷卻

升溫速度

室溫~800℃： 50 ^oC/sec ，800℃~1000℃ 10^oC/sec

降溫速度

64°C/min (在真空: 200 mtorr下), 117°C/min (在一個(gè)大氣壓下)

加熱區(qū)

4" X12"恒溫區(qū)（ +/-5°C ）

溫控儀

PID 自動(dòng)控制，30段程序帶過熱和斷偶保護(hù)功能
熱偶: K type
自整定功能
控溫精度: +/- 0.5°C
RS485 串口和溫控軟件


控制芯片 + 數(shù)據(jù)線 + 軟件	軟件界面

石英管和樣品架

石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length
3" 的樣品架固定在滑動(dòng)法蘭上，石英材料
一片3" AlN 片放在樣品架上用來放置需要退火的樣品。
AlN 具有很高的熱導(dǎo)率，所以在樣品放置的區(qū)域有很好的溫度均勻性。

真空法蘭

帶KF-D25 高真空法蘭由不銹鋼制作，兩個(gè)高溫“O”型圈密封，.
滑動(dòng)法蘭使裝載樣品很容易. 3" 樣品架和內(nèi)插式熱偶保證了溫度的準(zhǔn)確。
可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)測量其真空度，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。

流量計(jì)

裝在前面板上一路流量計(jì)調(diào)整范圍 16 - 160 ml/min

電源

208-240 AC, 50/60 Hz 單相, 10 KW Max. (> 60A 保險(xiǎn))

高真空系統(tǒng)

結(jié)構(gòu)

移動(dòng)架尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(W), mm
承重: 600 Lbs

分子泵控制面板 : LCD 顯示

前級(jí)泵和分子泵安裝在移動(dòng)架里面.

真空度

6.3E-5 mbar ( 4" RTP 管式爐在 40 minutes內(nèi))

控制面板

一鍵操作 - 按一下“start"鍵，前級(jí)泵和分子泵便開始工作.
系統(tǒng)控制轉(zhuǎn)速 - 根據(jù)真空度和腔體的漏氣情況自動(dòng)調(diào)整轉(zhuǎn)速.
自保護(hù)功能 - 如果真空腔體漏氣率太高不能達(dá)到高真空，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)保護(hù)，避免因過熱或過流而造成損壞。
LCD 顯示屏 - 雙線性參數(shù)檢查界面，使操作更簡單.