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詳細(xì)介紹
OTF-1200X-4-C4LVS 雙管爐是 一個(gè)特殊的雙管CVD系統(tǒng),是專(zhuān)門(mén)為在金屬箔上生長(zhǎng)薄膜而設(shè)計(jì),特別是應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究，通過(guò)滑動(dòng)爐子實(shí)現(xiàn)快速加熱和冷卻。
特點(diǎn):
1.雙石英管：外管直徑100mm ，懸掛的內(nèi)管直徑 80. 金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上發(fā)生CVD反應(yīng)。
2.雙管的真空密封法蘭：允許反應(yīng)氣體通過(guò)兩管之間（10mm間隙）發(fā)生反應(yīng)，冷卻氣體直接通入內(nèi)管.
3.四通道質(zhì)量流量計(jì)控制4路氣體。
4.配有KF25快接和波紋管的高速機(jī)械泵。
5.爐子底部裝有滑軌：爐子可以從一端滑向另一端，從而實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫.
技術(shù)參數(shù)
| 爐體結(jié)構(gòu) |
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| 電源 | 電源:208-240VAC, 50/60Hz, 單相, 2.5KW ( 20A 保險(xiǎn)絲) | ||||
| 加熱溫度 | 溫度: 1100°C 連續(xù)溫度: 1000°C | ||||
| 加熱區(qū) | 加熱區(qū)長(zhǎng)度: 440mm 恒溫區(qū)長(zhǎng)度: 120mm (±1°C) @400~1100°C 雙溫區(qū)爐可獲得t 240mm 的恒溫區(qū) | ||||
| 加熱和冷卻速度 | 的加熱和冷卻速度跟工作溫度有關(guān)， 看出的加熱和冷卻速度隨溫度的變化而變化。 ( 在使用爐子之前，要校準(zhǔn)工作溫度和加熱、冷卻速度 )
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| 石英管 | 外管: OD: 4"x ID: 3.8"X55" Length (OD100 x ID 96 x 1400, mm ) 內(nèi)管: OD:3.15: x ID x 2.95" x 55" Length (OD80 x ID 75 x 1800 mm ) | ||||
| 真空法蘭 |
極限真空度: 10^-2 torr (機(jī)械泵) 10^-5 torr (分子泵) | ||||
| 可選 | 本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類(lèi)不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換. | ||||
| 溫控儀 | 溫控儀:帶超溫保護(hù)和PID調(diào)節(jié)的 30 段程序控制。 控溫精度: +/-1°C | ||||
| 混氣系統(tǒng) | 4路精密質(zhì)子流量計(jì)：數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制.
氣路: 4 路 | ||||
| 真空泵 |
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| 作為基片用的25um厚的銅箔 (選配） | 生長(zhǎng)石墨烯的銅箔 (150m length x 150mm width x 25um thickness) | ||||
| 尺寸（mm) | 爐體: 550 x 380 x 520 移動(dòng)架: 600x600x597 | ||||
| 凈重 | 300 lb | ||||
| 保修期 | 一年質(zhì)保期 (耗材：如爐管，“O”型圈，和加熱元件等不在保修范圍內(nèi)） | ||||
| 認(rèn)證 | CE 認(rèn)證 |
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