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上海飛擇科技有限公司>>>>惰性氣體和氫氣常溫凈化裝置

惰性氣體和氫氣常溫凈化裝置

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更新時間:2021-03-02 18:08:57瀏覽次數(shù):203

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產(chǎn)品簡介

◆可選內(nèi)置0.003μm濾波器(PF版本)

詳細(xì)介紹

應(yīng)用場合

◆半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)             

◆高純焊接             

◆惰性氣體凈化             

◆氣瓶柜             

◆氣體分析儀器           

◆研究與開發(fā)


凈化/過濾氣體清單
惰性氣體氫和氫化物腐蝕性氣體氧氣

不純物去除

H2O, O2, CO, CO2, H21 (N2, CH4)2

不純物去除

H2O, O2, CO2, CO (N2) 3

不純物去除

H2O

不純物去除

H2O, CO2(H2, CO,

CH4)4

Ar,Ar/CH4

HeCH4

Ne,CF4

Kr,CCL4

Xe,SF6

N2Freons

H2,As/H3

Ar/H2PH3

N2/H2,NH3

SiH4,B2H6

Si2H6H2Se

D.C.S.,GeH4

HBr

HCl

BCL3

BF3

CL2

HF

O2

Air

N20






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