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應(yīng)用場(chǎng)合：
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)
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研究與開發(fā)
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| 凈化/過濾氣體清單 | |||
| 惰性氣體 | 氫和氫化物 | 腐蝕性氣體 | 氧氣 |
不純物去除 H2O, O2, CO, CO2, H21 (N2, CH4)2 | 不純物去除 H2O, O2, CO2, CO (N2) 3 | 不純物去除 H2O | 不純物去除 H2O, CO2(H2, CO, CH4)4 |
Ar，Ar/CH4 He，CH4 Ne，CF4 Kr，CCL4 Xe，SF6 N2，Freons | H2，As/H3 Ar/H2，PH3 N2/H2，NH3 SiH4，B2H6 Si2H6，H2Se D.C.S.，GeH4 | HBr HCl BCL3 BF3 CL2 HF | O2 Air N20 |
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