詳細介紹 1、剪式干涉儀的主要用途和特點 剪式干涉儀基于平板剪切干涉原理,采用一塊具有一定厚度并帶有微量楔角的光學(xué)平板將一個具有空間相干性的波面分裂為兩個*相同的波面,并且使這兩個波面彼此相對錯位;因為波面上各點是彼此相干的,因此在這兩個波面的重疊區(qū)將產(chǎn)生干涉(Fig. 1)。 剪切平板楔角方向與剪切方向垂直。如果被檢光束*平行,則干涉條紋平行于剪切方向;如果被檢光束會聚或發(fā)散,則條紋將發(fā)生旋轉(zhuǎn)(Fig. 2)。 用途:通過判斷能讀干涉條紋的形狀可以求出原始波面的波差分布;根據(jù)條紋相對于水平基線的旋轉(zhuǎn)角度可以計算出光束準直度。 優(yōu)點:利用被測波面自身實現(xiàn)干涉,無需參考表面。 2、剪式干涉儀的工作原理 型號 JQG-1 型(簡易型) JQG-2型(多功能型) 特點 剪切平板固定 剪切平板可轉(zhuǎn)動,帶小格值為 1° 的度盤 剪切板 材料 通光口徑 小可檢驗光束直徑 剪切量 楔角名義值 K9 玻璃, n=1.51466 @ l=632.8nm 50mm 15mm 7.466mm 20″ 條紋旋轉(zhuǎn)靈敏度(對應(yīng)于條紋旋轉(zhuǎn) 10° 的光束準直度) 174mrad 光束準直度分辨率(與使用者經(jīng)驗有關(guān)) 58mrad (對應(yīng)于條紋旋轉(zhuǎn) 3° ) 19.3mrad (對應(yīng)于條紋旋轉(zhuǎn) 1° ) 外形尺寸 (mm) 144x147x110 195x124x150 多功能型2 簡易型 多功能型1