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詳細(xì)介紹
YBD-28明暗場(chǎng)金相顯微鏡是針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、冶金工業(yè)需求而開發(fā)的，作為高級(jí)金相顯微鏡用戶在使用時(shí)能夠體驗(yàn)其*性能，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件/金屬/陶瓷部件、精密模具的檢測(cè)。本儀器采用了反射和透射兩種照明形式，在反射光照明下可進(jìn)行明暗場(chǎng)觀察和DIC觀察、偏光觀察。在透射光下作明場(chǎng)觀察。穩(wěn)定、高品質(zhì)的光學(xué)系統(tǒng)使成像更清晰，襯度更好。符合人機(jī)工程學(xué)要求的設(shè)計(jì)，使您在工作中感到舒適和放松。
技術(shù)規(guī)格 | |
觀察頭 | 30°鉸鏈?zhǔn)饺浚?0mm-75mm） |
目鏡 | WF10×/25mm |
WF10×/20mm,帶0.1mm十字分劃板 | |
平場(chǎng)無限遠(yuǎn)長工作. 距離明暗場(chǎng)物鏡
| 5×/0.1B.D/W.D.29.4mm |
10×/0.25B.D/W.D.16mm | |
20×/0.40B.D/W.D.10.6mm | |
40×/0.60B.D/W.D.5.4mm | |
轉(zhuǎn)換器 | 帶DIC插孔四孔轉(zhuǎn)換器 |
平臺(tái) | 雙層移動(dòng)平臺(tái)，平臺(tái)尺寸: 189mm×160mm，移動(dòng)范圍：80mm×50mm |
濾色片 | 插板式濾色片（綠、藍(lán)、中性） |
聚光鏡 | N.A.1.25阿貝聚光鏡帶可變光闌和濾色片 |
調(diào)焦 | 粗、微動(dòng)同軸調(diào)焦，采用齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu).微動(dòng)格值0.002mm |
光源 | 透射照明:鹵素?zé)?2V/50W, AC85V-230V,亮度可調(diào)節(jié) |
落射照明:帶孔徑光欄和視場(chǎng)光欄，鹵素?zé)?2V/50W，AC85V-230V, 亮度可調(diào)節(jié) | |
偏光裝置 | 檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動(dòng)，起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路 |
檢測(cè)工具 | 0.01mm測(cè)微尺 |
防霉 | *的防霉系統(tǒng) |
選配件 | 二維測(cè)量軟件 |
專業(yè)金相圖像分析軟件 | |
落射照明：鹵素?zé)?2V/100W, AC85V-230V,亮度可調(diào)節(jié) | |
平場(chǎng)無限遠(yuǎn)長距離明暗場(chǎng)物鏡:50×/0.55B.D/W.D.5.1mm | |
平場(chǎng)無限遠(yuǎn)長距離明暗場(chǎng)物鏡80×/0.75B.D/W.D.4mm | |
平場(chǎng)無限遠(yuǎn)長距離明暗場(chǎng)物鏡100×/0.80B.D/W.D.3mm | |
測(cè)微目鏡 | |
500萬、1000萬、1600萬、2000萬像素CMOS電子目鏡 | |
攝影裝置及CCD接口0.5×、0.57×、0.75× | |
DIC（10×、20×、40×、100×） | |
壓平機(jī) | |
特點(diǎn)說明 1． 采用了UIS高分辨率、長工作距離無限光路校正系統(tǒng)的物鏡成像技術(shù) 2． 拓展了物鏡的復(fù)用技術(shù)，無限遠(yuǎn)物鏡與所有觀察法相兼容包括明暗視野法、偏光法，DIC并在每一觀察法中均提供高清晰的圖像質(zhì)量 3． 采用非球面Kohler照明，增加觀察亮度 4． WF10×（Φ25）超大視野目鏡，長工作距離明暗場(chǎng)金相物鏡 5． 可插DIC微分干涉裝置的轉(zhuǎn)換器 | |
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