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詳細(xì)介紹
產(chǎn)品用途
MX-4半導(dǎo)體檢測顯微鏡采用無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)，具有大視野、成像質(zhì)量高、功能擴(kuò)展性強(qiáng)(明場/斜照明/偏振光/DIC觀察)、大平臺等特點(diǎn)；同時(shí)配有長工作距半復(fù)消色差物鏡和可快速和慢速移動(dòng)的大行程載物臺，尤其適合半導(dǎo)體掩模板、液晶基板或其它平面顯示器及各種工業(yè)器件的檢驗(yàn)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
? 安全、穩(wěn)重的機(jī)架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì): 工業(yè)檢測級顯微鏡鏡體，低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機(jī)架，保證了系統(tǒng)的抗震能力與成像穩(wěn)定性。其前置低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，內(nèi)置100-240V寬電壓變壓器，可適應(yīng)不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。底座內(nèi)部設(shè)計(jì)有風(fēng)循環(huán)散熱系統(tǒng)，長時(shí)間使用也不會使機(jī)架過熱
? 反射照明器: 單顆大功率5W白色LED照明，帶斜照明機(jī)構(gòu)。切換至斜照明時(shí)，可以使物體表面不同材質(zhì)部分呈現(xiàn)立體圖案，增加觀察的對比度與視覺效果
? 高性能物鏡轉(zhuǎn)換器: MX4R轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設(shè)計(jì)，轉(zhuǎn)動(dòng)手感輕巧舒適，重復(fù)定位精度高，物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制，根據(jù)需求可配置不同孔位的轉(zhuǎn)換器
產(chǎn)品規(guī)格
特別聲明： 規(guī)格參數(shù) MX-4 光路系統(tǒng) 無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng) ● 觀察頭 鉸鏈三通觀察筒，30°傾斜，360°旋轉(zhuǎn)；瞳距范圍：50mm～75mm ● 正像,視度調(diào)節(jié)±5°；兩檔分光比R:T=100:0或50:50 ● 目鏡 高眼點(diǎn)大視野平場目鏡WF10X(Φ22mm) ● 無限遠(yuǎn)長工作距平場消
色差金相物鏡倍率 數(shù)值孔徑(N.A.) 工作距離(W.D.) ● 5×-DIC 0.15 10.80mm 10×-DIC 0.3 12.20mm 20×-DIC 0.45 4.00mm 無限遠(yuǎn)長工作距平場半復(fù)消金相物鏡 50× 0.55 7.90mm 100×(選配) 0.8 2.10mm ○ 放大倍數(shù) 50×-500× ● 物鏡轉(zhuǎn)輪(DIC) 位5孔轉(zhuǎn)換器(帶DIC插槽) ● 載物臺 6英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺，低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié) ● 平臺面積445mmX240mm，反射照明移動(dòng)范圍：158mmX158mm；透射照明移動(dòng)范圍:100mmX100mm，帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)的快速移動(dòng) 玻璃載物臺板。（透/反射用） 調(diào)焦機(jī)構(gòu) 粗、微動(dòng)同軸低手位調(diào)焦機(jī)構(gòu)、帶鎖緊和限位裝置 ● 微動(dòng)格值0.001mm、粗調(diào)行程30mm DIC微分干涉 DIC微分干涉觀察組件(選配) ○ 簡易偏光裝置 φ30起偏鏡插板（反射用）、360度旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板（反射用） ● 反射照明系統(tǒng) 柯拉照明系統(tǒng)，帶視場光闌與孔徑光闌，中心可調(diào) ● 帶斜射照明裝置 100-240V寬電壓,單顆大功率5W LED，暖色 透射照明系統(tǒng) 內(nèi)置5W暖色LED透射光照明系統(tǒng)，上下光可獨(dú)立控制 ● 數(shù)碼成像系統(tǒng) 高質(zhì)量0.5X CCD適配鏡 ● Puda 630萬USB型進(jìn)口芯片數(shù)字顯微鏡攝像機(jī)(采用SONY 6.3M/IMX178(C)，1/1.8“ (7.37x4.92)，59@3072 x2048，59@1536x 1024高性能芯片組/ USB3.0高速通訊，高分辨率、完美的色彩還原處理/ Ultra-Fine色彩渲染技術(shù)) ToupView專業(yè)的圖像軟件 可升級配件 目鏡：10×(分劃) ○ 注解：●為標(biāo)配、○為可升級配件
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