詳細(xì)介紹
圓盤狀部件過濾精度0.003μm *流量10~100L/min
● 過濾器材料全部采用SUS316L,不用擔(dān)心腐蝕和中間產(chǎn)物,同時具備較高的耐熱性能。
● 使用氮氣(N2)輸入,當(dāng)過濾器輸入側(cè)壓力為0.2MPa、流量為90SLM時,輸出側(cè)壓力損失△為0.05MPa。
● 固定或脈動方式下過濾精度經(jīng)CNC確認(rèn)達(dá)到0.003μm,實現(xiàn)了超微ULSI的制造的成品率大幅度提高。
規(guī)格: