詳細介紹
CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+雙溫區(qū)管式爐+抽氣系統(tǒng)組成 ,溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度,加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計或浮子流量計,混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。
這款CVD系統(tǒng)是由8路供氣系統(tǒng)+TL1700-1400雙溫區(qū)管式爐+真空系統(tǒng)組成
KTL1700-1400 雙溫區(qū)管式爐:以1800型硅鉬棒和硅碳棒為加熱元件,有兩個加熱區(qū),采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表,每個加熱區(qū)能進行30段程序控溫,移相觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,爐管兩端裝有不銹鋼法蘭,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,抽真空時真空度能夠達到10-3 Pa,該爐為臥式,兩個溫區(qū)可以獨立控制、設置不同的溫度,使用方便,操作簡單,該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點,是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產(chǎn)品。
(1)、硅鉬棒的熱端粗度D1為7mm、一般廠家采用的6MM、加熱端粗、不容易彎曲、棒子的表面負荷低,使用壽命長。
(2)、采用的是熱彎技術(shù),電阻均勻,使用壽命長
(3)、Lu冷端長度為210mm, 400X300X300爐子為260 ,一般廠家采用180mm, 冷端長爐頂溫度低。
(4)、硅鉬棒表面氧化非晶膜致密,能夠比較好的保護硅鉬棒。
當電路過流或漏電時,空開會自動斷開
該氣氛管式爐可配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù),并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來,隨時可以調(diào)出
(1)、真空吸濾成型的高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
(2)、采用*成型。
(3)、爐膛材料熱容低、熱傳導系數(shù)低,從而散熱少、保溫好、反射率高。溫場均衡。
(4)、爐膛氧化鋁絲細而長、耐溫高、抗熱漲冷縮能力強
(5)、爐膛表面光潔、不易掉粉。
(全部通過UL認證的進口電器)
1、移相觸發(fā)(帶軟啟動和限流功能)
2、限流功能:無論怎么樣設置升溫速率,我們電爐的二次電流始終被限制在170A以內(nèi),有效的保護了設備。由于采用限流功能,高溫下可開爐門。如果您使用的電爐需要在升溫過程中對爐子的升溫速率進行限制(例如:規(guī)定在1400℃后不
得超過3℃/min等)即采用非限流觸發(fā)器。升溫速率設置錯誤或者升溫速率過快、這時電流會非常大,設備會跳閘或燒壞。
3、軟啟動功能:開機時電流會慢慢增大,對加熱元件的沖擊較小,有利于加熱元件壽命的延長
4、保護功能:如果電流超過限制電流、觸發(fā)器會自動切斷觸發(fā)功能以切斷電流保護電爐。
1、變壓器電纜為純銅
2、變壓器聲音小
3、變壓器溫身低