詳細(xì)介紹
CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng) ,溫度可以達(dá)到1200度、1400度、1600度、1700度,加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等,極限真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì),混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。
OTL-CVD-1200-1200CVD系統(tǒng)是由3路供氣系統(tǒng)+TL1200-S管式爐+真空系統(tǒng)組成OTL-CVD-1200-1200CVD系統(tǒng)以進(jìn)口電阻絲瑞典(Canthal)為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和日本島電控溫儀表,能進(jìn)行40段程序控溫,移相觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn),是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品。
(3)、電阻均衡、溫場(chǎng)均衡性好
(4)、加熱元件:瑞典Kanthal A1 進(jìn)口電阻絲 (電阻絲可承諾保修2年)
當(dāng)電路過(guò)流或漏電時(shí),空開(kāi)會(huì)自動(dòng)斷開(kāi)
該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過(guò)電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù),并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況,爐子的實(shí)際升 溫曲線(xiàn)電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出,并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來(lái),隨時(shí)可以調(diào)出真空度。
(2)、采用*成型。
(3)、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過(guò)熱工軟件模擬溫場(chǎng)
(4)、采用4周加熱,溫場(chǎng)更加均衡
(全部通過(guò)UL認(rèn)證的進(jìn)口電器)
采用宇電程序控溫儀表(標(biāo)配)