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KTL-CVD-1700單溫區(qū)CVD系統(tǒng)

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  • 型號 KTL-CVD-1700
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  • 廠商性質(zhì) 其他
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更新時間:2021-04-18 16:04:23瀏覽次數(shù):360

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品描述:CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng) ,溫度可以達(dá)到1200度、1400度、1600度、1700度,加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等,極限真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì),混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。

詳細(xì)介紹

CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng) ,溫度可以達(dá)到1200度、1400度、1600度、1700度,加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等,極限真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì),混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。 

這款CVD系統(tǒng)是由4路供氣系統(tǒng)KTL1600管式爐+真空系統(tǒng)組成。


 

(1)、硅鉬棒的熱端粗度D1為7mm、一般廠家采用的6MM、加熱端粗、不容易彎曲、棒子的表面負(fù)荷低,使用壽命長。

2)、采用的是熱彎技術(shù),電阻均勻,使用壽命長

(3)、Lu冷端長度為210mm, 400X300X300爐子為260 ,一般廠家采用180mm, 冷端長爐頂溫度低。

(4)、硅鉬棒表面氧化非晶膜致密,能夠比較好的保護(hù)硅鉬棒。 
 

當(dāng)電路過流或漏電時,空開會自動斷開

 

 該氣氛管式爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù),并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況,爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會實(shí)時繪出,并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來,隨時可以調(diào)出


 


(1)、真空吸濾成型的高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
(2)、采用*成型。
(3)、爐膛材料熱容低、熱傳導(dǎo)系數(shù)低,從而散熱少、保溫好、反射率高。溫場均衡。
(4)、爐膛氧化鋁絲細(xì)而長、耐溫高、抗熱漲冷縮能力強(qiáng)
(5)、爐膛表面光潔、不易掉粉。

 

(全部通過UL認(rèn)證的進(jìn)口電器)

 

 

 

采用宇電程序控溫儀表(標(biāo)配)

1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。

2、具有過溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,,(當(dāng)電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時,主電路上的交流繼電器會自動斷開,主電路斷開,面板上ON燈熄滅,OFF燈亮,有限的保護(hù)電爐)。

3、帶有485 通訊接口(選購軟件時標(biāo)配)

4、具有斷電保護(hù)功能,即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。

5、儀表具有溫度自整定的功能

 






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