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詳細(xì)介紹
產(chǎn)品介紹
型號(hào) | TS-PL60MA |
外形尺寸（WDH)mm | 1000*1030*1630 |
射頻電源 | 13.56MHz |
真空腔體 | 進(jìn)口316不銹鋼，級(jí)密封 |
腔體尺寸 | W400×H400×D450mm |
工作真空度 | 5-70Pa |
真空泵 | 油泵/干泵（選配） |
真空管路組件 | 全不銹鋼管路+波紋管 |
內(nèi)置水平式電極 | 380*380*15mm |
氣體流量監(jiān)測(cè)系統(tǒng) | 質(zhì)量流量控制器 0-500ML |
氣體通道 | 2路，支持氧氣，氬氣，氮?dú)?，氫氣，四氟化碳?/p> |
| 控制方式 | PLC+觸摸屏 |
等離子體處理儀是通過(guò)利用對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子狀態(tài)，利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等的目的。
等離子體清洗儀產(chǎn)品特點(diǎn)：
不分處理對(duì)象的基材類型，對(duì)金屬、半導(dǎo)體和大多數(shù)高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理，并可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。
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