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MSE-2401/2402/2403 全自動便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀(干泵)

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更新時間:2021-07-16 15:10:41瀏覽次數(shù):359

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產(chǎn)品簡介

島津氦質(zhì)譜檢漏儀搭載了新型的CPU,采用專用的分流泵及中間排氣系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)了的低BG恢復(fù)性能和操作性。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品信息

主要特點(diǎn)

  • 靈敏度: 10-13~100Pa?m3/s【He】
  • 氦氣排氣速度:3 L/S
  • 的本底恢復(fù)性能和極短的節(jié)拍時間
  • 大屏幕液晶觸摸顯示面板,操作便捷
  • 分析管采用長壽命的鍍氧化釷銥燈絲(內(nèi)置兩根)
  • 采用非接觸式干泵為無塵室提供更優(yōu)化的真空系統(tǒng)
  • 無油/無塵/三年免維護(hù)(干泵)


應(yīng)用領(lǐng)域

  • 半導(dǎo)體和平板顯示器制造
  • LED制造
  • 鍍膜設(shè)備
  • 制冷設(shè)備和空調(diào)的元件及部件
  • 低溫壓力容器
  • 閥門氣密性
  • 撿漏航空部件,配件及系統(tǒng)

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