曝光燈HBO 200W/DC ，HBO 350W/S，HBO 1000W/D，HBO 5000W/S

曝光燈HBO 200W/DC ，HBO 350W/S，HBO 1000W/D，HBO 5000W/S

HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography

適用SUSS蘇斯光刻機型的曝光燈

燈管型號 壽命（H） 適用SUSS蘇期光刻機型

HBO 200W/DC 1000H MJB3, MJB4

HBO 350W/S 600H MA4, MA6, MA8, MA150, MJB3, MJB21,UV300/500

HBO 1000W/D 1000H MA150,MA200,MA4,MA6, MA8

HBO 5000W/S 1000H MA300

以下是歐司朗曝光燈的技術(shù)參數(shù),適用于蘇斯光刻機以及ASML阿斯麥，NIKON尼康，Canon佳能，EVG, OAI等品牌光刻機