詳細介紹
日本電子JEOL: JBX-8100FS 圓形電子束光刻系統(tǒng)
· JBX-8100FS 圓形電子束光刻系統(tǒng)
· 高精密JBX-8100FS圓形電子束光刻系統(tǒng),通過的設(shè)計優(yōu)化,實現(xiàn)更簡便的操作,更快的刻寫速度,更小的占地面積和安裝空間,并且更加綠色節(jié)能。
高精密JBX-8100FS圓形電子束光刻系統(tǒng),通過的設(shè)計優(yōu)化,實現(xiàn)更簡便的操作,更快的刻寫速度,更小的占地面積和安裝空間,并且更加綠色節(jié)能。
節(jié)省空間
標準的設(shè)備占地面積為4.9m(W)×3.7m(D)×2.6m(H),比以往機型占用空間更小,外形更加緊湊美觀。
低功耗
正常工作時的功耗約為3kVA,僅需以往機型耗電量的1/3。
高產(chǎn)能
具備高分辨率和高速兩種刻寫模式,非常適用于超微細加工以及批量生產(chǎn)。該設(shè)備減少了刻寫過程中的無謂耗時,并將掃描頻率提升至業(yè)界最水準的125MHz (以往機型的1.25~2.5倍),使其具備更高的生產(chǎn)能力。
機型
JBX-8100FS系列設(shè)有G1(基本版)和G2(全配版)兩種機型。G1機型裝機后也可進行升級,使其支持更高的應用需求。
新功能
安裝光學顯微鏡(選配)后,在避免光刻膠感光的的同時可對材料上的圖形進行確認。設(shè)備還配備了信號塔(標配),實現(xiàn)了視覺范圍內(nèi)的系統(tǒng)運行狀況監(jiān)控。
激光定位分辨率
采用分辨率為0.6nm的激光干涉儀,對樣品臺位置進行高精度的量測控制。
系統(tǒng)控制
配備了Linux®系統(tǒng),圖形用戶界面使操作更加簡單,便于初學者使用。數(shù)據(jù)準備程序支持Linux®和Windows®
主要技術(shù)指標