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詳細(xì)介紹
BW 232FA 全自動(dòng)晶圓清洗機(jī)
賣(mài)點(diǎn)
。SECS / GEM 功能
。全自動(dòng)超音波洗凈
。Barcode 讀取
機(jī)臺(tái)優(yōu)勢(shì)
?？芍梅艃山M Cassette
。加熱功能
。四面溢流與過(guò)濾循環(huán)功能
作業(yè)方式
槽: 藥劑超音波槽。
第二槽: 藥劑超音波槽。
第三槽: 純水 QDR 槽。
第四槽: 純水 QDR 槽。
第五槽: 純水 QDR 槽。
第六槽: 真空干燥槽。
設(shè)備規(guī)格
設(shè)備尺寸 | 4330 mm × 2120 mm × 2980 mm ( Ｗ×Ｄ×Ｈ ) |
設(shè)備重量 | 3500 kg |
電源ＡＣ | 415V (50/60 Hz) 3 phase 5 wire Volt.(V) |
空氣源 | 壓縮干燥空氣 6~8 Kgf/cm2 |
N2 | General Nitrogen 2 m³/min |
設(shè)備應(yīng)用范圍
晶圓尺寸 | 6″ 晶圓 |
晶粒尺寸 | – |
雷切深度 | – |
膠環(huán)尺寸 | – |
膜料尺寸 | – |
機(jī)臺(tái)特性
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