詳細(xì)介紹
反射膜厚儀RM 1000和RM 2000
反射膜厚儀RM 1000/2000具有200nm-930nm的紫外-近紅外光譜范圍。光學(xué)布局為光吞吐量優(yōu)化,以便即使在粗糙或曲面上也能可靠地測量n和k。精確的高度和傾斜特別適用于精確的單光束反射率測量,且測量非常穩(wěn)定。
擴(kuò)展折射率指數(shù)測量極限
我們的反射儀的特點(diǎn)是通過樣品的高度和傾斜調(diào)整進(jìn)行精確的單光束反射率測量,光學(xué)布局的高光導(dǎo)允許對n和k進(jìn)行重復(fù)測量,對粗糙表面進(jìn)行測量以及對非常薄的薄膜進(jìn)行厚度測量。
紫外-近紅外光譜范圍
RM 1000 430 nm – 930 nm
RM 2000 200 nm – 930 nm
高分辨率自動掃描
反射儀RM 1000和RM 2000可以選配x-y自動掃描臺和自動掃描軟件、用于小光斑尺寸的物鏡和攝像機(jī)。
反射膜厚儀RM 1000和RM 2000測量具有光滑或粗糙表面的平坦或彎曲樣品的反射率。利用SENTECH FTPadv Expert軟件計算單層或?qū)盈B膜的厚度、消光系數(shù)和折射率指數(shù)。在紫外-可見光- 近紅外光譜范圍內(nèi),可以分析5nm~50μm厚度的單層膜、層疊膜和基片。
RM 1000和RM 2000代表SENTECH反射儀。臺式裝置包括高度穩(wěn)定的光源、具有自動準(zhǔn)直透鏡和顯微鏡的反射光學(xué)部件、高度和傾斜可調(diào)的樣品臺、光譜光度計和電源。它可以選配x-y自動掃描臺和自動掃描軟件、用于小光斑尺寸的物鏡和攝像機(jī)。
除了膜厚和光學(xué)常數(shù)之外,我們的反射儀還可以測量薄膜(例如,AlGaN on GaN,SiGe on Si)、防反射涂層(例如,紋理硅太陽能電池上的防反射涂層、紫外敏感GaN器件上的防反射涂層),以及小型科研支架上的防反射涂層。該反射儀支持在微電子、微系統(tǒng)技術(shù)、光電子、玻璃涂層、平板技術(shù)、生命科學(xué)、生物技術(shù)等領(lǐng)域的應(yīng)用。