URE-2000S 系列雙面光刻機(jī)

一、 URE-2000S/A8 型雙面光刻機(jī)

1.主要技術(shù)參數(shù)

曝光面積：8 英寸

曝光波長(zhǎng)：365nm： 15mW/cm

405nm：15-30mW/cm2

分辨力：1mm

對(duì)準(zhǔn)精度：±2 mm（雙面,片厚 0.8mm）

±0.8mm（單面）

掩模尺寸：4 英寸、5 英寸，7 英寸，9 英寸

樣片尺寸：3 英寸、4 英寸，6 英寸，8 英寸

厚度 0.1mm—2mm

曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量

調(diào)平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復(fù)l

數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙

具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口

正面對(duì)準(zhǔn)采用雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò) CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)最

大倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍

物鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍

目鏡三對(duì)：10 倍、16 倍、20 倍

底面面對(duì)準(zhǔn)：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計(jì)算機(jī)合像，物鏡軸距范圍 10mm-200mm

照明不均勻性：5%（Ф200mm 范圍）

掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：

X：±5mm; Y：±5mm; q：±6 度

膠厚：500 mm（SU8 膠，用戶提供檢測(cè)條件）

光源平行性：2°

具有循環(huán)水冷卻系統(tǒng)

汞燈功率：1000W（直流，進(jìn)口）

2．外形尺寸：1400mm（長(zhǎng)）´1200mm(寬) ´2000mm（高）

3．設(shè)備構(gòu)成與配置明細(xì)

設(shè)備主要由均勻照明曝光系統(tǒng)（曝光頭）、對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)系統(tǒng)、雙目雙視場(chǎng)顯微鏡系統(tǒng)、底面 CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)、電控

系統(tǒng)、氣動(dòng)控制系統(tǒng)及輔助配套設(shè)備構(gòu)成。

（1）曝光頭系統(tǒng)包括：

。冷光橢球鏡

。1000 W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)

。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)

。冷卻風(fēng)扇.

。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門(mén)、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（109 余個(gè)透鏡）、i 線濾光片、

場(chǎng)鏡、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)系統(tǒng)包括：

。掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)（XY）

。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)（θ）

。樣片自動(dòng)調(diào)平機(jī)構(gòu)

。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)l

。承片臺(tái) 4 個(gè) （3 英寸、4 英寸，6 英寸，8 英寸）

。掩模架 4 個(gè) （4 英寸、5 英寸，7 英寸，9 英寸）

。掩模翻轉(zhuǎn)及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)

（3）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡（可選擇帶 CCD 型，目鏡和監(jiān)視器可同時(shí)觀測(cè)）系統(tǒng)包括：

。LED 照明及配套電源

。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對(duì)（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。物鏡 3 對(duì)（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。CCD 及光學(xué)成像系統(tǒng)

XYZ 底面對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)（兩套）

（4）底面 CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

。LED 照明及配套電源

。CCD 及光學(xué)成像系統(tǒng)(2 套)

。數(shù)據(jù)采集卡

（5）電控系統(tǒng)

。汞燈觸發(fā)電源(1000W 直流汞燈)

。單片機(jī)控制系統(tǒng)

?？刂乒褡?/span>

。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)（22 英寸寬屏液晶顯示器）

（6）氣動(dòng)系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動(dòng)

。氣動(dòng)儀表

（7）其他附件（選配）

。真空泵一臺(tái)（無(wú)油*型）

?？諌簷C(jī)一臺(tái)（無(wú)油*型）

。恒溫循環(huán)水冷卻系統(tǒng)

。管道

二、 URE-2000S/A 型雙面光刻機(jī)

1.主要技術(shù)參數(shù)

曝光面積：6 英寸

曝光波長(zhǎng)：365nm： 20mW/cm

405nm：20-35mW/cm2

分辨力：1mm

對(duì)準(zhǔn)精度：±2mm（雙面,片厚 0.8mm）

±0.8mm（單面）

掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸，7 英寸

樣片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸，6 英寸

厚度 0.1mm—6mm

曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量

調(diào)平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復(fù)

數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙

具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口7

正面對(duì)準(zhǔn)采用雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò) CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)最

大倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍

物鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍

目鏡三對(duì)：10 倍、16 倍、20 倍

底面面對(duì)準(zhǔn)：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計(jì)算機(jī)合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm

照明不均勻性： 2.5%（Ф100mm 范圍）

3%（Ф150mm 范圍）

掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：

X：±5mm; Y：±5mm; q：±6 度

膠厚：500 mm（SU8 膠，用戶提供檢測(cè)條件）

光源平行性：2°

具有循環(huán)水冷卻系統(tǒng)

汞燈功率：1000W（直流，進(jìn)口）

2．外形尺寸：1400mm（長(zhǎng)）´1200mm(寬) ´2000mm（高）

3．設(shè)備構(gòu)成與配置明細(xì)

設(shè)備主要由均勻照明曝光系統(tǒng)（曝光頭）、對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)系統(tǒng)、雙目雙視場(chǎng)顯微鏡系統(tǒng)、底面 CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)、電控

系統(tǒng)、氣動(dòng)控制系統(tǒng)及輔助配套設(shè)備構(gòu)成。

（1）曝光頭系統(tǒng)包括：

。冷光橢球鏡

。1000 W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)

。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)

。冷卻風(fēng)扇.

。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門(mén)、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（109 余個(gè)透鏡）、i 線濾光片、

場(chǎng)鏡、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)系統(tǒng)包括：

。掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)（XY）

。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)樣片自動(dòng)調(diào)平機(jī)構(gòu)

。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)

。承片臺(tái) 4 個(gè) （2 英寸、3 英寸、4 英寸，6 英寸）8

。掩模架 4 個(gè) （3 英寸、4 英寸、5 英寸，7 英寸）

。掩模翻轉(zhuǎn)及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)

（3）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡（可選擇帶 CCD 型，目鏡和監(jiān)視器可同時(shí)觀測(cè)）系統(tǒng)包括：

。LED 照明及配套電源

。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對(duì)（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。物鏡 3 對(duì)（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。CCD 及光學(xué)成像系統(tǒng)

。XYZ 底面對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)（兩套）

（4）底面 CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

。LED 照明及配套電源

。CCD 及光學(xué)成像系統(tǒng)(2 套)

。數(shù)據(jù)采集卡

（5）電控系統(tǒng)

。汞燈觸發(fā)電源(1000W 直流汞燈)

。單片機(jī)控制系統(tǒng)

。控制柜桌

。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)（22 英寸寬屏液晶顯示器）

（6）氣動(dòng)系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動(dòng)

。氣動(dòng)儀表

（7）其他附件（選配）

。真空泵一臺(tái)（無(wú)油*型）

。空壓機(jī)一臺(tái)（無(wú)油*型）

。恒溫循環(huán)水冷卻系統(tǒng)

。管道

（8）技術(shù)資料

。設(shè)備使用及維護(hù)說(shuō)明書(shū)

三、 URE-2000S/B 型雙面光刻機(jī)

1．技術(shù)參數(shù)

曝光面積：4 英寸

曝光波長(zhǎng)：365nm： 25mW/cm

405nm：20-40mW/cm2

分辨力：1mm

對(duì)準(zhǔn)精度：±2mm（雙面,片厚 0.8mm）

±0.8mm（單面）

掩模尺寸： 3 英寸、4 英寸、5 英寸

樣片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸

厚度 0.1mm--6mm

曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量

調(diào)平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復(fù)

數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙

具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口

正面對(duì)準(zhǔn)采用雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò) CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)最

大倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍10

物鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍

目鏡三對(duì)：10 倍、16 倍、20 倍

底面面對(duì)準(zhǔn)：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計(jì)算機(jī)合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm

照明不均勻性： 2.5%（Ф100mm 范圍）

掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：

X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6 度

膠厚：600 mm（SU8 膠，用戶提供檢測(cè)條件）

光源平行性：2°

具有循環(huán)水冷卻系統(tǒng)

汞燈功率：1000W（直流，進(jìn)口）

2．外形尺寸：1400mm（長(zhǎng)）´1200mm(寬) ´2000mm（高）

3．配置

（1）曝光頭

。冷光橢球鏡

。1000 W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗,長(zhǎng)壽命型)；

。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)

。冷卻風(fēng)扇

。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門(mén)、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（109 個(gè)透鏡）、i 線濾光片、場(chǎng)

鏡、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

。掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)

。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動(dòng)完成

。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)

。承片臺(tái) 3 個(gè) （3 英寸、4 英寸，5 英寸）

。掩模夾 3 個(gè) （2 英寸、3 英寸、4 英寸）

。掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)

（3）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡（可以選擇帶 CCD 型，目鏡和監(jiān)視器可同時(shí)觀測(cè)）

。光源（配備品 2 只）、電源

。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對(duì)（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）11

。物鏡 3 對(duì)（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。CCD 光學(xué)系統(tǒng)

（4）底面 CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

。光源（配備品 2 只）、 電源

。成像光學(xué)系統(tǒng)(2 套)

。雙通道數(shù)據(jù)采集卡

。CCD（兩套）

（5）電控系統(tǒng)

。汞燈觸發(fā)電源(1000W 直流汞燈)

。單片機(jī)控制系統(tǒng)

?？刂乒褡?/span>

。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)（監(jiān)視器配 21 英寸寬屏液晶）

（6）氣動(dòng)系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動(dòng)

。氣動(dòng)儀表

（7）其他附件

。無(wú)油*真空泵一臺(tái)

。無(wú)油*空壓機(jī)一臺(tái)

。恒溫循環(huán)水冷卻系統(tǒng)

。管道

四、 URE-2000S/25A 型雙面光刻機(jī)

1．技術(shù)參數(shù)

曝光面積：6 英寸

曝光波長(zhǎng)：365nm：

功率密度：＞25mW/cm2

分辨力：1mm

正面雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：

既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò) CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800

倍，物鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍；目鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍

正面立式雙 CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，光學(xué)放大，0.65-4.5 倍；具備側(cè)向光源

底面面對(duì)準(zhǔn)：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計(jì)算機(jī)合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm

對(duì)準(zhǔn)精度：±2mm（雙面，片厚 0.8mm）

±0.8mm（單面）

掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸

樣片尺寸：：2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸

厚度 0.1mm--2mm(雙面)

曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量

照明不均勻性： 2.5%（Ф100mm 范圍）

4%（Ф150 mm 范圍）13

掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：

X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6 度

汞燈功率：350W（直流，進(jìn)口）

調(diào)平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復(fù)

數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙

具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口

膠厚：350 mm（SU8 膠，用戶提供檢測(cè)條件）

光源平行性：3.5°

2．外形尺寸：1300mm（長(zhǎng)）´900mm(寬) ´1800mm（高）

3．配置

（1）曝光頭

。冷光橢球鏡

。350 W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)

。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)

。冷卻風(fēng)扇

。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門(mén)、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個(gè)透鏡）、i 線濾光片、場(chǎng)鏡

1、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

。掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)

。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動(dòng)完成

。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，氣缸自動(dòng)調(diào)

。承片臺(tái) 4 個(gè)（2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸）

。掩模夾 4 個(gè)（3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸）

。掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)

（3）雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡（帶 CCD，目鏡和監(jiān)視器可同時(shí)觀測(cè)）

。光源、電源

。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對(duì)（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。物鏡 3 對(duì)（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。立式雙 CCD 光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) 14

。側(cè)向?qū)?zhǔn)光源

（4）底面 CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

。光源、電源

。成像光學(xué)系統(tǒng)

。數(shù)據(jù)采集卡

。CCD

（5）電控系統(tǒng)

。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)

。單片機(jī)控制系統(tǒng)

?？刂乒褡?/span>

。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)（21 英寸寬屏液晶顯示器）

（6）氣動(dòng)系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動(dòng)

。氣動(dòng)儀表

（7）其他附件

。真空泵一臺(tái)（無(wú)油泵）

?？諌簷C(jī)一臺(tái) （音靜泵）

。管道

五、 URE-2000S/25 型雙面光刻機(jī)

1．技術(shù)參數(shù)

曝光面積：4 英寸

曝光波長(zhǎng)：365nm： 40mW/cm

405nm：20-45mW/cm2

分辨力：1mm

正面對(duì)準(zhǔn)采用雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò) CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)最

大倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍

物鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍

目鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍

底面面對(duì)準(zhǔn)：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計(jì)算機(jī)合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm

對(duì)準(zhǔn)精度：±2mm（雙面，片厚 0.8mm）

±0.6mm（單面）

掩模尺寸： 3 英寸、4 英寸、5 英寸

樣片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸

厚度 0.1mm--2mm(雙面)

曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量

照明不均勻性： 3%（Ф100mm 范圍）16

掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：

X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6 度

汞燈功率：350W（直流，進(jìn)口）

調(diào)平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復(fù)

數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙

具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口

膠厚：350 mm（SU8 膠，用戶提供檢測(cè)條件）

光源平行性：3.5°

2．外形尺寸：1300mm（長(zhǎng)）´900mm(寬) ´1800mm（高）

3．配置

（1）曝光頭

。冷光橢球鏡

。350 W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)

。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)

。冷卻風(fēng)扇

。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門(mén)、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個(gè)透鏡）、i 線濾光片、場(chǎng)鏡

1、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

。掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)

。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動(dòng)完成

。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，氣缸自動(dòng)調(diào)

。承片臺(tái) 3 個(gè)（2 英寸、3 英寸、4 英寸）

。掩模夾 3 個(gè)（3 英寸、4 英寸、5 英寸）

。掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)

（3）雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡（可以選擇帶 CCD 型，目鏡和監(jiān)視器可同時(shí)觀測(cè)）

。光源、電源

。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對(duì)（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。物鏡 3 對(duì)（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）17

。CCD 光學(xué)系統(tǒng)（選配件）

。XYZ 底面對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

（4）底面 CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

。光源、電源

。成像光學(xué)系統(tǒng)

。數(shù)據(jù)采集卡

。CCD

（5）電控系統(tǒng)

。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)

。單片機(jī)控制系統(tǒng)

?？刂乒褡?/span>

。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)（21 英寸寬屏液晶顯示器）

（6）氣動(dòng)系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動(dòng)

。氣動(dòng)儀表

（7）其他附件

。真空泵一臺(tái)（無(wú)油泵）

?？諌簷C(jī)一臺(tái) （音靜泵）

。管道

六、 URE-2000S/35L（A）型雙面光刻機(jī)

1．技術(shù)參數(shù)

曝光面積：6 英寸

光 源：紫外 LED

曝光波長(zhǎng)：365nm： 10-25mW/cm

分辨力：1mm

正面對(duì)準(zhǔn)采用雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò) CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)最

大倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍

物鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍

目鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍

底面面對(duì)準(zhǔn)：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計(jì)算機(jī)合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm

對(duì)準(zhǔn)精度：±2mm（雙面，片厚 0.8mm）

±0.6mm（單面）

掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸

樣片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸

厚度 0.1mm--2mm ，

曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量

照明不均勻性：2.5%（Ф100mm 范圍）19

3%（ f150 mm 范圍）

掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：

X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6 度

調(diào)平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復(fù)

數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙

具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口

膠厚：400 mm（SU8 膠，用戶提供檢測(cè)條件）

光源平行性：2°

2．外形尺寸：1300mm（長(zhǎng)）´900mm(寬) ´1800mm（高）

3．配置

（1）曝光頭

。冷光橢球鏡

。LED 進(jìn)口光源

。冷卻模塊

。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門(mén)、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個(gè)透鏡）、i 線濾光片、場(chǎng)鏡

1、冷光反射鏡 1、反射鏡 2、能力調(diào)節(jié)器、微光學(xué)整形元件

（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

。掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)

。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動(dòng)完成

。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，氣缸自動(dòng)調(diào)

。承片臺(tái) 4 個(gè)（2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸）

。掩模夾 4 個(gè)（3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸）

。掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)

（3）雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡（可以選擇帶 CCD 型，目鏡和監(jiān)視器可同時(shí)觀測(cè)）

。光源、電源

。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對(duì)（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。物鏡 3 對(duì)（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。CCD 光學(xué)系統(tǒng)（選配件）20

。XYZ 底面對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

（4）底面 CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

。光源、電源

。成像光學(xué)系統(tǒng)

。數(shù)據(jù)采集卡

。CCD

（5）電控系統(tǒng)

。單片機(jī)控制系統(tǒng)

?？刂乒褡?/span>

。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)（21 英寸寬屏液晶顯示器）

（6）氣動(dòng)系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動(dòng)

。氣動(dòng)儀表

（7）其他附件

。真空泵一臺(tái)（無(wú)油泵）

?？諌簷C(jī)一臺(tái) （音靜泵）

。管道

七、 URE-2000S/35L（B）型雙面光刻機(jī)

1．技術(shù)參數(shù)

曝光面積：4 英寸

光 源：紫外 LED

曝光波長(zhǎng)：365nm：20-40mW/cm2

分辨力：1mm

正面對(duì)準(zhǔn)采用雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò) CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)最

大倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍

物鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍

目鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍

底面面對(duì)準(zhǔn)：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計(jì)算機(jī)合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm

對(duì)準(zhǔn)精度：±2 mm（雙面，片厚 0.8mm）

±0.6mm（單面）

掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸

樣片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸

厚度 0.1mm--2mm(雙面)

曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量

照明不均勻性： 2.5%（Ф100mm 范圍）22

掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：

X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6 度

調(diào)平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復(fù)

數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙

具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口

膠厚：400 mm（SU8 膠，用戶提供檢測(cè)條件）

光源平行性：2°

2．外形尺寸：1300mm（長(zhǎng)）´900mm(寬) ´1800mm（高）

3．配置

（1）曝光頭

。冷光橢球鏡

。LED 進(jìn)口光源

。冷卻模塊

。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門(mén)、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個(gè)透鏡）、i 線濾光片、場(chǎng)鏡

1、冷光反射鏡 1、反射鏡 2、能力調(diào)節(jié)器、微光學(xué)整形元件

（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

。掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)

。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動(dòng)完成

。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，氣缸自動(dòng)調(diào)

。承片臺(tái) 3 個(gè)（2 英寸、3 英寸、4 英寸）

。掩模夾 3 個(gè)（3 英寸、4 英寸、5 英寸）

。掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)

（3）雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡（可以選擇帶 CCD 型，目鏡和監(jiān)視器可同時(shí)觀測(cè)）

。光源、電源

。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對(duì)（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。物鏡 3 對(duì)（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。CCD 光學(xué)系統(tǒng)（選配件）

。XYZ 底面對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)23

（4）底面 CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

。光源、電源

。成像光學(xué)系統(tǒng)

。數(shù)據(jù)采集卡

。CCD

（5）電控系統(tǒng)

。單片機(jī)控制系統(tǒng)

?？刂乒褡?/span>

。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)（21 英寸寬屏液晶顯示器）

（6）氣動(dòng)系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動(dòng)

。氣動(dòng)儀表

（7）其他附件

。真空泵一臺(tái)（無(wú)油泵）

。空壓機(jī)一臺(tái) （音靜泵）

。管道

（8）技術(shù)資料

。使用維修說(shuō)明書(shū)

。顯微鏡使用說(shuō)明書(shū)

八、 URE-2000S/25S 型雙面光刻機(jī)

1．技術(shù)參數(shù)

曝光面積：4 英寸（或 6 英寸）

曝光波長(zhǎng)：365nm： 40mW/cm

405nm：20-40mW/cm2

分辨力：1mm

正面對(duì)準(zhǔn)采用雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò) CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)最

大倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍

物鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍

目鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍

底面面對(duì)準(zhǔn)：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計(jì)算機(jī)合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm

對(duì)準(zhǔn)精度：±2.5mm（雙面，片厚 0.8mm）

±0.6mm（單面）

掩模尺寸： 3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸（6 英寸配置）

樣片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸（6 英寸配置） 25

厚度 0.1mm--2mm

曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量

照明不均勻性： 3%（Ф100mm 范圍）

5%（ f150 mm 范圍）

掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：

X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6 度

汞燈功率：350W（直流，進(jìn)口）

膠厚：350 mm（SU8 膠，用戶提供檢測(cè)條件）

光源平行性：3.5°

2．外形尺寸：1300mm（長(zhǎng)）´1000mm(寬) ´1800mm（高）

3．配置

（1）曝光頭（兩套）

。冷光橢球鏡

。350 W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)

。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)

。冷卻風(fēng)扇

。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門(mén)、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個(gè)透鏡）、i 線濾光片、場(chǎng)鏡

1、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

。掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)

。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動(dòng)完成

。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，氣缸自動(dòng)調(diào)

。承片臺(tái)：2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸（6 英寸配置）

。掩模夾：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸（6 英寸配置）

（3）雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡（可以選擇帶 CCD 型，目鏡和監(jiān)視器可同時(shí)觀測(cè)）

。光源、電源

。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對(duì)（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。物鏡 3 對(duì)（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。CCD 光學(xué)系統(tǒng)（選配件）26

。XYZ 底面對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

（4）底面 CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

。光源、電源

。成像光學(xué)系統(tǒng)

。數(shù)據(jù)采集卡

。CCD

（5）電控系統(tǒng)

。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)

。單片機(jī)控制系統(tǒng)

?？刂乒褡?/span>

。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)（21 英寸寬屏液晶顯示器）

（6）氣動(dòng)系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動(dòng)

。氣動(dòng)儀表

（7）其他附件

。真空泵一臺(tái)（無(wú)油泵）

?？諌簷C(jī)一臺(tái) （音靜泵）

。管道