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詳細(xì)介紹
布魯克Bruker白光干涉光學(xué)輪廓儀 Contour X, 滿足微納米表面測量需要
簡介：
•桌面型精巧款式
•采集數(shù)據(jù)，自動(dòng)測量，分析和數(shù)據(jù)后處理，一氣呵成的完備方案
•樣品尺寸:
•150 mm x 150 mm x 92 mm
•承載 4.5 kg
•垂直分辨率: < 0.01nm @ 所有視場下
•橫向分辨:
•0.3µm (±150nm)
•AcuityXR 0.15µm (±75nm)
•基于白光干涉原理，結(jié)果可溯源
白光干涉技術(shù)內(nèi)在優(yōu)勢
垂直分辨率
普適性，易于操作、各種樣品類型與表面
計(jì)量
硬件，為性能所做優(yōu)化
物鏡，為挑戰(zhàn)性測量專門設(shè)計(jì)
完備的自動(dòng)化測量系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)配置
*的縫合功能
針對不同應(yīng)用下，提升效率
ContourX
關(guān)鍵好處
高質(zhì)量計(jì)量
作為桌面型輪廓儀
布魯克白光干涉輪廓儀
專為您的應(yīng)用服務(wù)
•從每日測試挑戰(zhàn)到滿足嚴(yán)苛要求，可靠的表面計(jì)量
•不同應(yīng)用示例：展示布魯克白光干涉獨(dú)到之處
•薄膜與鍍層
•精密加工
•材料研究
•MEMS與傳感器
•光學(xué)元器件
•半導(dǎo)體
•摩擦學(xué)
薄膜與鍍層：表面粗糙度與厚度，*的準(zhǔn)確性
表面粗糙度與平整度
滿足您的嚴(yán)苛要求
材料研究：表面紋理，揭示最微小的細(xì)節(jié)
MEMS和傳感器
關(guān)鍵尺寸– 質(zhì)量控制，匹配您的所有需求
關(guān)鍵尺寸– 質(zhì)量控制，完備的自動(dòng)化組件
光學(xué)元器件：全頻譜密度的粗糙度信息
光柵與光學(xué)器件，亞微米計(jì)量
微型光學(xué)形貌表征
缺陷偵測
半導(dǎo)體：質(zhì)量監(jiān)控與工藝開發(fā)，匹配您的應(yīng)用需求
質(zhì)量監(jiān)控與工藝開發(fā)，完備的軟件平臺
關(guān)鍵尺寸– 質(zhì)量控制
完備的自動(dòng)化組件
摩擦學(xué)
表面紋理與磨損體積（速率）
滿足您對準(zhǔn)確性的需求
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