URE-2000/17 型紫外單面光刻機(jī)（臺(tái)式）

技術(shù)參數(shù)

。曝光面積：4 英寸

。曝光波長(zhǎng)：365nm

。分辨力：1.5μm（膠厚 2 ?m 的正膠）

。對(duì)準(zhǔn)精度：±1μm

。掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：15mm;Y:15mm

。掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

。樣片尺寸：直徑 Ф 15mm-- Ф 100mm，厚度 0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為 15mm)

。曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量

。照明不均勻性： 5%（Ф 100mm 范圍）

。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò) CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍

物鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍

目鏡三對(duì)：10 倍、16 倍、20 倍

。掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：

X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度

。汞燈功率：200W（直流）

。曝光能量密度：6mW/cm

2．外形尺寸：650mm（長(zhǎng)）x600mm(寬) x900mm（高）36

3．配置

（1）曝光頭

。200W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)

。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)

。光學(xué)系統(tǒng)

。冷卻風(fēng)扇

（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

。掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)

。掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)

。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),手動(dòng)

。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，手動(dòng)

。承片臺(tái) 3 個(gè)（Ф 50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm ）

。掩模夾 4 個(gè)（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）

。掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)

（3）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡

。光源（配備品 2 只）、電源

。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對(duì)（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。物鏡 3 對(duì)（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。CCD（中國(guó)臺(tái)灣）

。21 寸液晶顯示器

（4）電控系統(tǒng)

。汞燈觸發(fā)電源(200W 直流汞燈)

。單片機(jī)控制系統(tǒng)

?？刂茩C(jī)箱

（5）氣動(dòng)系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動(dòng)

。氣動(dòng)儀表

（6）其他附件

。真空泵一臺(tái)

。管道