URE-2000/35AL 型紫外單面光刻機(jī)

主要技術(shù)參數(shù)：

（1）曝光面積：150mm×150mm；

（2）照明不均勻性： ≤4%（ Ф 150mm 范圍）；

（3）分辨力：1.0μm（365nm 波長(zhǎng)）

（4）對(duì)準(zhǔn)精度：≤±0.8μm；

（5）掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸；

（6）樣片尺寸：直徑 Ф 15mm-- Ф 150mm、厚度 0.1mm--6mm；

（7）掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta:±6°；

（8）掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：6mm;Y:6mm

（9）曝光光源：紫外 LED（進(jìn)口）；

（10）曝光波長(zhǎng)：365nm；

（11）曝光強(qiáng)度：≥15mW/cm2 ；

（12）曝光定時(shí)：倒計(jì)時(shí)方式(0.1s—9999.9s 任意設(shè)定).

（13）調(diào)平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復(fù)

（14）數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙

（15）具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口

技術(shù)構(gòu)成與配置

設(shè)備由曝光頭系統(tǒng)、對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)系統(tǒng)、CCD 對(duì)準(zhǔn)顯微鏡系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、氣動(dòng)系統(tǒng)等部分構(gòu)成。

（1）曝光頭系統(tǒng)包括:

◆ 進(jìn)口紫外 LED 光源模塊；

◆ LED 光源整形模塊；

◆ XYZ 光源位置調(diào)節(jié)臺(tái)；

◆ 光學(xué)系統(tǒng)（含整形模塊、可變光欄、電子快門(mén)、蠅眼透鏡組（79 個(gè)透鏡）、場(chǎng)鏡組、反射鏡組）；

◆ 冷卻風(fēng)扇。

（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)系統(tǒng)包括：

◆ 掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)（XY）；

◆ 轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)；

◆ 樣片調(diào)平機(jī)構(gòu)，采用三爪加球氣浮自動(dòng)調(diào)平方式；

◆ 樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，采用電機(jī)加傳感器方式，可數(shù)字分離曝光間隙；

◆ 承片臺(tái) 4 個(gè)（2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸各 1 個(gè)）；

◆ 掩模夾 4 個(gè)（3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸各 1 個(gè)）。

（3）CCD 對(duì)準(zhǔn)顯微鏡系統(tǒng)包括：

◆ 對(duì)準(zhǔn)光源 LED 燈；

◆ 雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體；

◆ 目鏡 3 對(duì)（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）；

◆ 物鏡 3 對(duì)（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）；

◆ CCD 部件；

◆ 22 英寸寬屏液晶顯示器。

（4）電控系統(tǒng)包括：

◆ 單片機(jī)控制系統(tǒng)；

◆ 紫外 LED 電源模塊；

◆ 控制柜桌。

（5）氣動(dòng)系統(tǒng)包括：

◆ 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)、電磁閥驅(qū)動(dòng)、氣動(dòng)儀表等 。

(6)．輔助設(shè)備配置:

◆ 真空泵 1 臺(tái)（干泵）；

◆ *空氣壓縮機(jī) 1 臺(tái)；

◆ 配套接管 10m；

(7)．備品備件

◆ 對(duì)準(zhǔn)光源燈 4 只（LED-1W，不包括機(jī)器自帶的兩只）；