URE-2000B 型紫外單面光刻機(jī)

1．技術(shù)參數(shù)

。曝光面積：100mmX100mm

。曝光波長(zhǎng)：365nm

。分辨力：0.8μm（膠厚 2μm 的正膠）

。對(duì)準(zhǔn)精度：± 0.6μm

。掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：15mm;Y:15mm

。掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

。樣片尺寸：直徑 ± 15mm--± 100mm（各種不規(guī)則片）

厚度 0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為 15mm)

。曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量

。具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能

。照明不均勻性： 2.5%（±100mm 范圍）

。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò) CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍物鏡 3 對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍； 目鏡 3 對(duì)：10 倍、16 倍、20 倍

。調(diào)平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復(fù)

。數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙

。具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口15

。掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程： X: ±5mm; Y: ±5mm; Thellta: ±6 度

。焦厚：600μm（SU8 膠，用戶提供檢測(cè)條件）

。光源平行度：1.2º

。曝光能量密度：>20mW/cm

。汞燈功率：1000W（直流，進(jìn)口）

2．外形尺寸：1400mm（長(zhǎng)）?1200mm(寬) ?1950mm（高）

3．配置

（1）曝光頭

。冷光橢球鏡

。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)

。冷卻風(fēng)扇

。1000W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)

。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（109 個(gè)透鏡）、i 線濾光片、場(chǎng)鏡、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

。掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)

。掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)

。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動(dòng)完成

。樣片自動(dòng)調(diào)焦機(jī)構(gòu)

。承片臺(tái) 4 個(gè)（?15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸）

。掩模夾 4 個(gè)（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）

。基片抽拉式上下機(jī)構(gòu)

（3）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡及 CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

。光源、電源

。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對(duì)（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。物鏡 3 對(duì)（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。CCD

。21 英寸液晶顯示器

（4）電控系統(tǒng)

。汞燈觸發(fā)電源(1000W 直流汞燈)16

。單片機(jī)控制系統(tǒng)

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（5）氣動(dòng)系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動(dòng)

。氣動(dòng)儀

（6）其他附件

。真空泵一臺(tái)（無(wú)油泵）

。空壓機(jī)一臺(tái)（*泵）

。管道