URE-2000/25 型紫外單面光刻機(jī)

。曝光面積：4 英寸

。曝光波長(zhǎng)：365nm

。分辨力：1 μm（膠厚 2 μm的正膠）

。對(duì)準(zhǔn)精度：± 0.8μm

。掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：15mm;Y:15mm

。掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

。樣片尺寸：直徑 Ф15mm-- Ф100mm(各種不規(guī)則片)，厚度 0.1mm--6mm

。曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量

。照明不均勻性： 3%（ Ф100mm 范圍）

。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過 CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù) 400 倍， 光學(xué)+電子放大 800 倍

物鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍

目鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍

。掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：

X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6º

。焦厚：350μm（SU8 膠，用戶提供檢測(cè)條件）

。光源平行性：3.5 º

。曝光能量密度：>20mW/cm2,照明面溫度<35 º

。汞燈功率：350W（直流，進(jìn)口）33

2．外形尺寸：1200mm（長(zhǎng)）x900mm(寬) x1750mm（高）

3．配置

（1）曝光頭

。冷光橢球鏡

。350W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)

。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)

。冷卻風(fēng)扇

。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個(gè)透鏡）、i 線濾光片、場(chǎng)鏡1、場(chǎng)鏡 2、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

。掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)

。掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)

。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu), 手動(dòng)

。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，手動(dòng)

。承片臺(tái) 3 個(gè)（Ø50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm）

。掩模夾 4 個(gè)（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）

?；槔缴舷聶C(jī)構(gòu)

（3）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡

。光源（配備品 2 只）、電源

。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對(duì)（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。CCD 及 21 英寸液晶顯示器

。物鏡 3 對(duì)（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

（4）電控系統(tǒng)

。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)

。單片機(jī)控制系統(tǒng)

。控制箱

（5）氣動(dòng)系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動(dòng)

。氣動(dòng)儀表

（6）其他附件

。真空泵一臺(tái)

?？諌簷C(jī)一臺(tái)

。管道