URE-2000/30 型紫外單面光刻機(jī)

1．技術(shù)特征

。高倍率雙目雙視場顯微鏡和 22 英寸寬屏液晶顯示同時(shí)觀察對準(zhǔn)過程，并提供 USB 輸出；既滿足高精度對準(zhǔn)，又可用于檢測曝光結(jié)果，且曝光結(jié)果和方便存儲

。采用倒置式照明，更換汞燈更方便，散熱和防漏光效果更好

。對準(zhǔn)位和曝光位雙工位工作，雙工位自動(dòng)切換

。采用嵌入式計(jì)算機(jī)+觸摸屏操作，操作更方便，更時(shí)尚

。上下片、版十分方便，自動(dòng)化程度高，操作簡便。對高校教學(xué)科研（可靠性好，演示方便）及工廠(效率高)尤為適宜

2．技術(shù)參數(shù)

。曝光面積：100mm×100mm（可升級為 6 英寸）

。曝光波長：365nm

。分辨力：≤1 μm（膠厚 1.5 μm 的正膠）

。對準(zhǔn)精度：±0.6 μm

。顯微鏡掃描臺運(yùn)動(dòng)范圍：X：10mm;Y:10mm

。掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

。樣片尺寸：直徑Ф 15mm-- Ф 100mm（各種不規(guī)則片）厚度 0.1mm--6mm

。曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量

。具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能30

。照明不均勻性： 3%（Ф 100mm 范圍）

。雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對準(zhǔn)，也可通過 CCD+顯示器對準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍

物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍

目鏡三對：10 倍、16 倍、20 倍

。曝光對準(zhǔn)雙工位自動(dòng)切換

。調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)

。數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和間隙

。具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口

。掩模相對于樣片運(yùn)動(dòng)行程：

X: ± 5mm; Y: ± 5mm; Thelta: ± 6º

。焦厚：400 μm（SU8 膠，用戶提供檢測條件）

。光源平行性：3 º

。曝光能量密度：>25mW/cm2,照明面溫度<35 ºC

。單層曝光一鍵完成

。采用球氣浮+三爪找平

。汞燈功率：350W（直流，進(jìn)口）

3．外形尺寸：1400mm（長）x900mm(寬) x1500mm（高）

4．配置

（1）曝光頭

。冷光橢球鏡

。350W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺

。冷卻風(fēng)扇

。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個(gè)透鏡）、i 線濾光片、場鏡、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

（2）對準(zhǔn)工件臺

。光刻機(jī)底座

。工位切換臺（氣缸）

。掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺

。掩模樣片相對運(yùn)動(dòng)臺

。轉(zhuǎn)動(dòng)臺

。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),三點(diǎn)自動(dòng)完成31

。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，電機(jī)自動(dòng)調(diào)

?；槔缴舷聶C(jī)構(gòu)

。承片臺 4 個(gè)：Ф 15mm 、Ф 40mm、Ф 60mm、Ф 100mm（可按用戶要求增減）

。掩模夾 4 個(gè)：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸（可按用戶要求增減）

。樣片抽拉式上下機(jī)構(gòu)

（3）對準(zhǔn)顯微鏡

。光源、 電源

。雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng)，22 寸液晶顯示器

（4）電控系統(tǒng)

。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)

。單片機(jī)控制系統(tǒng)

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。控制柜桌

（5）氣動(dòng)系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動(dòng)

。氣動(dòng)儀表

（6）其他附件

。真空泵一臺

?？諌簷C(jī)一臺

。配套接口管道