URE-2000/35 型紫外單面光刻機(jī)

1．技術(shù)特征——非常適合工廠（效率高，操作傻瓜型，自動化程度高）和高校教學(xué)科研（可靠性好，演示方便）采用自動找平，具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝以及接近式曝光四種功能，自動分離對準(zhǔn)間隙和消除曝光間隙，采用 350W 進(jìn)口（德國）直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度。設(shè)備外形美觀精制，性能非?？煽?，自動化程度很高，操作十分方便。

2．技術(shù)參數(shù)

。曝光面積：4 英寸

。曝光波長：365nm

。分辨力：0.8μm

。對準(zhǔn)精度：±0. 8μm

。掩模樣片整體運(yùn)動范圍：X：15mm;Y:15mm

。掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

。樣片尺寸：直徑 ±10mm-- ±100mm(各種不規(guī)則片) 厚度 0.1mm--5mm(可擴(kuò)展為 15mm)

。曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量18

。具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能

。照明不均勻性： 3%（±100mm 范圍）

。雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對準(zhǔn)，也可通過 CCD+顯示器對準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍

物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍

目鏡三對：10 倍、16 倍、20 倍

。調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)

。數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙

。具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口

掩模相對于樣片運(yùn)動行程：

X: ± 5mm; Y: ± 5mm; Thelta: ± 6º

。焦厚：400μm（SU8 膠，用戶提供檢測條件）

。光源平行性：3.5 º

。曝光能量密度：>20mW/cm2,照明面溫度<35 º

。單層曝光一鍵完成

。采用球氣浮自動找平

。汞燈功率：350W（直流，進(jìn)口汞燈）

3．外形尺寸：1200mm（長)x900mm(寬) x1750mm（高）

4．配置

（1）曝光頭

。冷光橢球鏡

。350W 進(jìn)口直流高壓汞燈(進(jìn)口)

。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺

。冷卻風(fēng)扇

。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個(gè)透鏡）、i 線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

（2）對準(zhǔn)工件臺

。掩模樣片整體運(yùn)動臺

。掩模樣片相對運(yùn)動臺19

。轉(zhuǎn)動臺

。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動完成

?；槔缴舷聶C(jī)構(gòu)

。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，電機(jī)自動調(diào)

。承片臺 4 個(gè)：?15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸（可按用戶要求增減）

。掩模夾 4 個(gè)：3 英寸、4 英寸、5 英寸（可按用戶要求增減）

（3）對準(zhǔn)顯微鏡

。光源（配備品 2 只）、 電源

。雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）

。CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng)，21 寸液晶顯示器

（4）電控系統(tǒng)

。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)

。單片機(jī)控制系統(tǒng)

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（5）氣動系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動

。氣動儀表

（6）其他附件

。真空泵一臺

?？諌簷C(jī)一臺

。管道