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詳細(xì)介紹
CINDBEST CL-4 | 4~8" 精密I-V測(cè)試測(cè)量探針臺(tái)系統(tǒng)
特點(diǎn) / 應(yīng)用
◆ 滿足I-V/C-V，PIV測(cè)試，光電測(cè)試等.
◆ 可用于8英寸以內(nèi)樣品測(cè)試
◆ 同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)
◆ 兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng)
◆ 可升級(jí)做射頻，大電流方面的測(cè)試和激光修復(fù)應(yīng)用 |  |
臺(tái)體規(guī)格：
尺寸 | 4英寸/6英寸/8英寸 |
水平旋轉(zhuǎn) | 可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置 |
X-Y移動(dòng)行程 | 4英寸*4英寸/6英寸*6英寸 |
X-Y移動(dòng)精度 | 10微米/1微米 |
樣品臺(tái)Z軸調(diào)節(jié) | 可升降10mm |
樣品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán) |
針座平臺(tái) | U型針座平臺(tái)，最多可放置6個(gè)探針座 |
背電極測(cè)試 | 樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極 |
外形尺寸 | 400mm長(zhǎng)*400mm寬*600mm高/580mm長(zhǎng)*480mm寬*600mm高 |
重量 | 約40千克/60千克 |
光學(xué)系統(tǒng)：
顯微鏡類型 | 單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡 |
放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
移動(dòng)行程 | X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸行程50.8mm |
光源 | 外置LED環(huán)形光源/同軸光源 |
CCD | 200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素 |
探針座
X-Y-Z移動(dòng)行程 | 12mm*12mm*12mm |
移動(dòng)精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 |
吸附方式 | 磁力吸附/真空吸附 |
線纜 | 同軸線/三軸線 |
漏電精度 | 10pA/100fA/10fA |
固定探針 | 彈簧固定/管狀固定 |
接頭類型 | BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
針尖直徑 | 0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
針尖材質(zhì) | 鎢鋼/鈹銅 |
可選附件
加熱臺(tái) |
顯示器 |
轉(zhuǎn)接頭 |
射頻測(cè)試配件 |
屏蔽箱 |
光學(xué)平臺(tái) |
鍍金卡盤 |
光電測(cè)試配件 |
高壓測(cè)試配件 |
顯微鏡快速傾仰裝置 |
激光系統(tǒng) |
探針卡夾具 |
PS:探針臺(tái)可根據(jù)客戶要求定制。
規(guī)格及設(shè)計(jì)如有更改，恕不另行通知。
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