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詳細(xì)介紹
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
全新的一體化設(shè)計(jì)，具有優(yōu)異的光學(xué)成像質(zhì)量，方便使用的正像光學(xué)系統(tǒng)，是理想的檢測(cè)半導(dǎo)體器件的工具，支持3 種激光波長(zhǎng)，可在半導(dǎo)體和液晶基板中使用激光切割和薄膜技術(shù)。可以廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、冶金等行業(yè)的制 造和研究領(lǐng)域。描述
● 人機(jī)工程頭部
PSM-1000E雙目觀察頭可以在3°- 30°轉(zhuǎn)動(dòng)，調(diào)整觀察眼點(diǎn)的高度和觀察方向，使操作者的使用更加舒適。
● 管鏡
PSM-1000的管鏡轉(zhuǎn)盤(pán)上裝有1X NUV、1X NIR和2X 管鏡，三組管鏡之間可以根據(jù)需要進(jìn)行切換，切換簡(jiǎn)單、方便。其 中1X NUV對(duì)355nm和532nm波長(zhǎng)進(jìn)行了優(yōu)化，1X NIR對(duì)532nm和1064nm波長(zhǎng)進(jìn)行了優(yōu)化，當(dāng)使用這3個(gè)波長(zhǎng)的激光器 時(shí)，可以得到更好的激光透過(guò)率。
● 光路切換拉桿
通過(guò)推拉光路轉(zhuǎn)換拉桿可以方便的對(duì)光路進(jìn)行切換。當(dāng)轉(zhuǎn)換拉桿往外拉時(shí)，雙目頭和攝像接口的分光比為0：100， 此時(shí)從攝像接口上入射的激光的進(jìn)入光路，提高了激光效率；當(dāng)轉(zhuǎn)換器拉桿往里推時(shí)，雙目頭和攝像接口的分 光比為50：50，此時(shí)即可用雙目頭觀察，同時(shí)也可以在攝像接口上使用CCD攝像頭或激光器。
● 偏光觀察
主體上留有偏光插孔，插上偏光附件(選配件)，可進(jìn)行偏光觀察。
● 調(diào)焦機(jī)構(gòu)
PSM-1000的調(diào)焦機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)舒適，工作可靠。調(diào)焦機(jī)構(gòu)可承載45磅(20.4Kg)，確保安裝激光器和CCD攝像頭后， 仍然能夠正常工作。
● 轉(zhuǎn)換器
PSM-1000采用4孔可調(diào)中轉(zhuǎn)換器，使用隨機(jī)配送的調(diào)中鑰匙，可以很方便地調(diào)整物鏡的齊中。
● 物鏡
PSM-1000采用長(zhǎng)工作距離的無(wú)應(yīng)力平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡，提供了優(yōu)異的成像質(zhì)量。關(guān)于物鏡的具體參數(shù)請(qǐng)參照APO物 鏡樣本。
● 數(shù)碼攝像系統(tǒng)
根據(jù)所使用的CCD攝像機(jī)的CCD尺寸，選擇合適的攝像接頭，安裝在攝像接口上，組成數(shù)碼攝像系統(tǒng)，就可以在電 腦、電視或監(jiān)視器上同步觀察。
● 照明系統(tǒng)
采用同軸垂直照明系統(tǒng)，光源采用外置冷光源。長(zhǎng)達(dá)2m的照明光纖和光源遙控器(選配件)給PSM-1000帶來(lái)更自由的 操作空間。
● 探測(cè)工作站
PSM-1000的主體部分可以安裝在探測(cè)工作站上，進(jìn)行硅片的測(cè)試。
● 激光裝置
PSM-1000的攝像接口處裝有激光安全定位銷，雙目頭前留有安裝激光安全濾色片的位置，并提供補(bǔ)償墊片。無(wú)需專 用的激光工具箱，就可以方便的把激光器和激光安全濾色片安裝上。
注:在安裝和使用激光器之前，請(qǐng)您仔細(xì)閱讀激光器和激光安全濾色片的使用手冊(cè)。由于在PSM-1000上使用激光器和 激光安全濾色片而產(chǎn)生的安全和性能問(wèn)題,深圳市森東寶科技有限公司對(duì)此概不負(fù)責(zé)。
規(guī)格說(shuō)明
鉸鏈?zhǔn)?/span> 三目頭 圖像 正像 瞳距 調(diào)節(jié)范圍 55-75mm 視場(chǎng)直徑 24mm 分光比 可通過(guò)光路切換拉桿自由切換（雙目頭：第三目=100:0或50:50） 主體 管鏡 1X（可對(duì)紫外及紅外線進(jìn)行優(yōu)化），2X 激光的使用 拉出光路切換拉桿即可 可應(yīng)用的激光 1064/532/355 nm NWR laser 調(diào)焦機(jī)構(gòu) 粗微調(diào)手輪 調(diào)焦行程：50mm；粗動(dòng)手輪4mm/轉(zhuǎn)；微動(dòng)手輪0.1mm/轉(zhuǎn) 調(diào)焦機(jī)構(gòu)承重量 20.5kg 攝像接頭 C-Mount接頭 照明系統(tǒng) 同軸垂直照明，可變孔徑光欄 冷光源(選配) 150W冷光源照明器及工業(yè)顯微鏡光纖（2m） 物鏡轉(zhuǎn)換器 四孔物鏡轉(zhuǎn)換器，中心可調(diào)，可拆卸 目鏡 10X 物鏡 長(zhǎng)工作距離平復(fù)消色差物鏡 2X, 5X, 10X, 20X, 50X（選配） 重量 主體：6.8kg；冷光源照明器：2.5kg
與探針臺(tái)搭配圖：
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