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詳細(xì)介紹
特點(diǎn)
? 此光學(xué)系統(tǒng)最初是為的 FS60 型 (后升級(jí)為 FS70 型) 而開(kāi)發(fā)的。 它是作為測(cè)量檢測(cè)半導(dǎo)體器件的顯微鏡的理想選擇。
? FS70L 支持 3 種 YAG 激光波長(zhǎng) (1064nm,532nm, 355nm)， FS70L4 支 持 2 種 波 長(zhǎng)(532nm, 266nm)， 可在半導(dǎo)體和液晶基板中使用薄膜激光切割技術(shù)。 這就擴(kuò)大了激光的使用范圍。
? FS70Z 的標(biāo)準(zhǔn)功能有 ： 亮視場(chǎng)， 微分干涉對(duì)比 (DIC) 和偏振觀測(cè)。 FS70L 和 FS70L4不支持 DIC。
? 使用內(nèi)置式轉(zhuǎn)換器使得長(zhǎng)工作距離物鏡的操作很簡(jiǎn)單。
? 此光學(xué)系統(tǒng)最初是為的 FS60 型 (后升級(jí)為 FS70 型) 而開(kāi)發(fā)的。 它是作為測(cè)量檢測(cè)半導(dǎo)體器件的顯微鏡的理想選擇。
? FS70L 支持 3 種 YAG 激光波長(zhǎng) (1064nm,532nm, 355nm)， FS70L4 支 持 2 種 波 長(zhǎng)(532nm, 266nm)， 可在半導(dǎo)體和液晶基板中使用薄膜激光切割技術(shù)。 這就擴(kuò)大了激光的使用范圍。
? FS70Z 的標(biāo)準(zhǔn)功能有 ： 亮視場(chǎng)， 微分干涉對(duì)比 (DIC) 和偏振觀測(cè)。 FS70L 和 FS70L4不支持 DIC。
? 使用內(nèi)置式轉(zhuǎn)換器使得長(zhǎng)工作距離物鏡的操作很簡(jiǎn)單。
? 極易操作的設(shè)計(jì) ： FS70 采用正像光學(xué)系統(tǒng) (視場(chǎng)中的像與樣品方向相同) 并用橡膠把手加大微調(diào)手輪。
對(duì)焦方法
| 方法 | 有同心粗調(diào)和微調(diào)手輪 (左和右) |
| 測(cè)量范圍 | 50mm |
| 微調(diào) 0.1mm/rev. 同心 , | |
| 粗調(diào) 3.8mm/rev. | |
| 三目鏡筒圖像 | 正像 |
| 瞳距 | 西登托夫型 |
| 調(diào)節(jié)范圍 | 51 - 76mm |
| 視場(chǎng)數(shù) | 24 |
| 俯角 | 0o - 20o (僅適于 -TH, -THS 型號(hào)) |
| 照明系統(tǒng) | 亮視場(chǎng)反射照明 (科勒照明、 帶孔徑光闌) |
| 光源 | 12V100W 光纖、 無(wú)極亮度調(diào)節(jié),光導(dǎo)長(zhǎng)度 1.5m、 功耗 150W |
| 物鏡 (選件) | M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo |
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