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詳細介紹
產(chǎn)品說明
產(chǎn)品說明
一、 產(chǎn)品開發(fā)背景
目前國內的光學3D表面輪廓儀在技術指標上與國外差距較大，且在整機的測量穩(wěn)定性上也存在一定的差距。由于技術差距，導致了國內高精度的光學3D表面輪廓儀市場一直被國外占領，且形成了價格壟斷。SuperView W1 1200 光學3D表面輪廓儀在精度、穩(wěn)定性方面力求接近進口品牌的水平，在價格和技術上打破國外的壟斷，提升了我國在測量領域的測量水平，*我國在表面3D檢測的精密光學儀器技術上的空白。
SuperView W1 1200 光學3D表面輪廓儀廣泛應用于半導體工藝檢測、超精密加工、納米材料、光學加工、集成電路工藝檢測、汽車零部件、機器人、MEMS器件檢測、薄膜檢測、航空航天、工、科研院所等行業(yè)及領域中?？蓽y各類從光滑到粗糙的物體表面，從納米到微米級別工件的輪廓、線粗糙度、面粗糙度，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。
二、 產(chǎn)品圖片
產(chǎn)品型號：SuperView W1 1200
產(chǎn)品名稱：光學3D表面輪廓儀
三、 產(chǎn)品描述
SuperView W1 1200光學3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌的3D測量的光學檢測儀器。
SuperView W1 1200光學3D表面輪廓儀只需操作者裝好被測器件，在軟件測量界面上設置好視場參數(shù)，調整鏡頭到接近器件表面，選擇自動聚焦，儀器會對器件表面進行自動對焦并找到干涉條紋，調節(jié)好干涉條紋寬度后即可開始進行掃描測量；掃描結束后，軟件分析界面自動生成器件3D圖像，操作者可通過軟件對生成的3D形貌進行數(shù)據(jù)處理與分析，獲取表征器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、3D參數(shù)。
SuperView W1 1200 光學3D表面輪廓儀采用光學非接觸式測量方法，它具有測量精度高、使用方便、分析功能強大、測量參數(shù)齊全等優(yōu)點，其*的光源模式，保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質量檢測。
系統(tǒng)軟件為簡體中文操作系統(tǒng)，操作方便。
四、 產(chǎn)品功能
1．行業(yè)領域和應用對象
對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
應用范例：
半導體.硅晶片表面粗糙度測量 | 集成電路.MEMS元器件 |
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超精密加工.非球面反射面模具 | 精密加工.精密圓弧刀刃缺口測量 |
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精密加工.金字塔型金剛石磁頭 | 顯示屏.油墨玻璃邊緣高度差檢測 |
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單刻線臺階高、多刻線粗糙度標準塊 | |
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光學器件.微透鏡陣列&磨損平凸鏡面&棱鏡平面 | |
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2．軟件功能
(1) 提供多種數(shù)據(jù)處理方式。
提供校平、鏡像、旋轉等操作調整圖像位置；
提供空間濾波、標準濾波、閾值糾正、去除形狀、頻譜變換等濾波操作對數(shù)據(jù)進行修正；
提供提取區(qū)域、提取剖面、抽取輪廓等操作獲取檢測區(qū)域。
(2) 提供多種分析工具。
提供距離、臺階高度等要素測量；
提供點、線、圓弧、角度等特征測量，以及直線度、真圓度等形位公差評定，為用戶展現(xiàn)強大的輪廓分析功能；
提供基于表面的紋理分析，方便地觀察紋理方向與紋理均質性；
提供圖形分析、島嶼分析、分形分析、頂點計數(shù)、孔的體積等多種有針對性的分析功能；
提供頻譜分析功能，可獲取幅度和相位信息、平均功率譜密度信息、自相關性等；
提供全面的線粗糙度、面粗糙度的參數(shù)分析功能；
提供依據(jù)四大國內外標準(ISO/ASME/EUR/GBT)計算的2D，3D參數(shù)，參見參數(shù)表：
表 1：2D參數(shù)表
標準名 | 參數(shù) | |||
ISO 4287-1997 |
| 主剖面 | 粗糙度 | 波紋度 |
振幅參數(shù) | Pp, Pv ,Pz, Pc, Pt,Pa,Pq,Psk,Pku | Rp, Rv ,Rz, Rc, Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku | Wp, Wv ,Wz, Wc, Wt,Wa,Wq,Wsk,Wku | |
間距參數(shù) | PSm,Pdq | RSm,Rdq | WSm,Wdq | |
物料比參數(shù) | Pmr,Pdc | Rmr,Rdc,Rmr(Rz/4) | Wmr,Wdc,Wmr(Wz/4) | |
峰值參數(shù) | PPc | RPc | WPc | |
ISO 13565 | ISO 13565-2 | Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,A1,A2,Rpk,Rvk | ||
ISO 12085 | 粗糙度圖形參數(shù) | R,AR,R× ,Nr | ||
波紋度圖形參數(shù) | W,AW,W×,Wte | |||
其他圖形參數(shù) | Rke,Rpke,Rvke | |||
AMSE B46.1 | 2D參數(shù) | Rt,Rp,Rv,Rz,Rpm,Rma×,Ra,Rq,Rsk,Rku,tp,Htp,Pc,Rda,Rdq,RSm,Wt | ||
DIN EN ISO 4287-2010 | 原始輪廓參數(shù) | Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr, | ||
粗糙度參數(shù) | Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,RPc,Rdq,Rdc,Rmr, | |||
波紋度參數(shù) | Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr | |||
JIS B0601-2013 | 原始輪廓參數(shù) | Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr, | ||
粗糙度參數(shù) | Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr | |||
波紋度參數(shù) | Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr | |||
GBT 3505-2009 | 原始輪廓參數(shù) | Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr, | ||
粗糙度參數(shù) | Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr | |||
波紋度參數(shù) | Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr | |||
表 2：3D參數(shù)表
標準名 | 參數(shù) | |
ISO 25178 | 高度參數(shù) | Sq,Ssk,Sku,Sp,Sv,Sz,Sa |
函數(shù)參數(shù) | Smr,Smc,S×p | |
空間參數(shù) | Sal,Str,Std | |
復合參數(shù) | Sdq,Sdr | |
體積參數(shù) | Vm,Vv,Vmp,Vmc,Vvc,Vvv | |
形態(tài)參數(shù) | Spd,Spc,S10z,S5p,S5v,Sda,Sha,Sdv,Shv | |
功能參數(shù) | Sk,Spk,Svk,Smr1,Smr2,Spq,Svq,Smq | |
ISO 12781 | 平面度參數(shù) | FLTt,FLTp,FLTv,FLTq |
EUR 15178N | 振幅參數(shù) | Sa,Sq,Sz,Ssk,Sku,Sp,Sv,St |
空間參數(shù) | Str,Std,Sal | |
復合參數(shù) | Sdq,Sds,Ssc,Sdr,Sfd | |
面積體積參數(shù) | Smr,Sdc | |
函數(shù)參數(shù) | Sk,Spk,Svk,Sr1,Sr2,Spq,Svq,Smq | |
功能性指標參數(shù) | Sbi,Sci,Svi | |
EUR 16145 EN | 振幅參數(shù) | Sa，Sq，Sy，Sz，Ssk，Sku |
混合參數(shù) | Ssc，Sdq，Sdr | |
功能性指標 | Sbi，Sci，Svi，Sk，Spk，Svk | |
空間參數(shù) | Sds，Std，Stdi，Srw，Srwi | |
硬度參數(shù) | Hs，Hvol，Hv，Hps，Hpvol，Hpv，Hap，Hbp | |
ASME B46.1 | 3D參數(shù) | St,Sp,Sv,Sq,Sa,Ssk,Sku,SWt |
(3) 可視化的工作流模式，數(shù)據(jù)處理器和結果管理器具有可視工作流程樹圖，在每個節(jié)點既可以是數(shù)據(jù)處理選項也可以是分析結果。
(4) 多樣化的視圖觀察角度，3D視圖可以清晰地查看被測物的每一個特征，并可以在3D視圖、2D投影圖、等高線圖之間任意切換。
(5) 內置多種分析方案，可對特定表面進行一鍵分析，自動生成一組分析結果，節(jié)約操作時間；并可自定義方案，將用戶的分析項目組合起來，避免重復操作。
(6) 便捷的同步分析功能，可實時提取表面二維剖面，同步計算更新參數(shù)指標，實現(xiàn)對樣品的操作所見即所得。
(7) 擁有多種報表形式，用戶可根據(jù)需要導出分析結果到Word、Pdf等常用辦公軟件中。
五、 性能特色
1、 高精度、高重復性、高穩(wěn)定性
1） 采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高；
2） 精密的Z向掃描模塊和*的測量模式，保證測量重復性高；
3） 高性能的內部抗震設計，為測量高穩(wěn)定性保駕護航。
2、 自動化操作的測量軟件
依托人性化設計的測量軟件，W1 1200 光學3D表面輪廓儀的操作具備如下特點：
1） 自動聚焦，幫助用戶省去繁瑣的調節(jié)過程；
2） 可視化窗口，便于用戶實時觀察掃描過程；
3） 掃描完成后，掃描模塊自動跳轉初始位置，無須用戶手動操作；
4） 自動化測量，依托高精度定位光柵和相應軟件模塊，針對大尺寸樣品可編程進行自動化測量；
3、 功能強大的的XtremeVision Pro版3D形貌分析軟件
XtremeVision Pro版3D形貌分析軟件，具有如下特點：
1） 分析工具齊全，幾何分析、參數(shù)分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全；
2） 同步分析，測量參數(shù)隨提取剖面實時變化，實現(xiàn)測量的所見即所得；
3） 一鍵分析，常用的分析流程可保存為方案，測同種樣品一鍵獲取分析結果，提高批量測量效率；
4） 測量參數(shù)齊全，可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數(shù)；
4、 精密操縱手柄
集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。
六、 技術指標
1. 參數(shù)指標
光源 | 綠光LED | ||
影像系統(tǒng) | 1024×1024（2048×2048可選） | ||
干涉物鏡 | 10×（2.5×，5×，20×，50×，100×可選） | ||
光學ZOOM | 1×，（0.5×、0.75×可選） | ||
物鏡塔臺 | 3孔手動 | ||
XY位移平臺 | 尺寸 | 320×200mm | |
移動范圍 | 150×110mm | ||
負載 | 10kg | ||
控制方式 | 電動 | ||
水平調整 | ±4°手動 | ||
Z軸 聚焦 | 行程 | 100mm | |
控制方式 | 電動 | ||
Z向掃描范圍 | 2 mm(可擴展) | ||
Z向分辨率 | 0.1nm | ||
掃描速度 | 30μm/s | ||
可測樣品反射率 | 0.5%~ | ||
粗糙度RMS重復性 | 0.005nm | ||
臺階測量 | 準確度 | 重復性 | |
0.75% | 0.1% 1σ | ||
注：粗糙度性能參數(shù)依據(jù)ISO 25178標準在實驗室環(huán)境下測量Ra為0.2nm硅晶片Ra參數(shù)獲得；
臺階高性能參數(shù)依據(jù)ISO 25178標準在實驗室環(huán)境下測量4.7μm臺階高標準塊獲得。
光學規(guī)格表
物鏡倍率 | 2.5× | 5× | 10× | 20× | 50× | 100× | ||
數(shù)值孔徑 | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | 0.7 | ||
光學分辨率@550nm（μm） | 3.7 | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 | 0.4 | ||
焦深（μm） | 48.6 | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 | 0.56 | ||
工作距離（mm） | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 | ||
視場 H×V (mm) | 影像系統(tǒng) 1024×1024 | 0.5× | 3.84×3.8 | 1.92×1.92 | 0.96×0.96 | 0.48×0.48 | 0.192×0.192 | 0.096×0.096 |
0.75× | 2.56×2.56 | 1.28×1.28 | 0.64×0.64 | 0.32×0.32 | 0.128×0.128 | 0.064×0.064 | ||
1× | 1.92×1.92 | 0.96×0.96 | 0.48×0.48 | 0.24×0.24 | 0.096×0.096 | 0.048×0.048 | ||
影像系統(tǒng) 2048×2048 | 0.5× | 8.96×8.96 | 4.48×4.48 | 2.24×2.24 | 1.12×1.12 | 0.448×0.448 | 0.224×0.224 | |
0.75× | 6.44×6.44 | 3.22×3.22 | 1.61×1.61 | 0.805×0.805 | 0.322×0.322 | 0.161×0.161 | ||
1× | 4.48×4.48 | 2.24×2.24 | 1.12×1.12 | 0.56×0.56 | 0.224×0.224 | 0.112×0.112 | ||
2．儀器尺寸（長×寬×高）： 主機：900×700×604mm；
3．儀器主機重量：小于90Kg；
4．使用環(huán)境：無強磁場，無振動，無腐蝕氣體
工作溫度：15℃ ~30℃，溫度梯度 < 1℃/15分鐘
相對濕度：40-60%，無凝結
七、 相對濕度：40-60%，無凝結產(chǎn)品配置清單
標準配置：
1) 白光干涉測量儀主機 1臺；
2) 干涉物鏡：10× ；
3) XY自動工作臺 1臺；
4) 臺階樣塊及粗糙度標準塊1套；
5) XtremeVision Pro測量軟件1套；
6) 品牌計算機1套；
7) HP激光打印機1臺（型號隨HP廠家變更而變更）；
8) 儀器配件箱1個；
9) 電氣控制箱1個；
10) 加壓裝置1套；
11) 產(chǎn)品使用說明書1套；
12) 產(chǎn)品合格證、保修卡1套；
13) 免費保修1年。
可選配置：
1） 干涉物鏡：2.5×、5×、20×、50×、100×；
2） 影像系統(tǒng)：2048×2048；
3） 操作手柄1個；
4） T形槽圓形旋轉工作臺；
八、 產(chǎn)品配置清單
標準配置：
1) 白光干涉測量儀主機 1臺；
2) 干涉物鏡：10× ；
3) XY自動工作臺 1臺；
4) 臺階樣塊及粗糙度標準塊1套；
5) XtremeVision Pro測量軟件1套；
6) 品牌計算機1套；
7) HP激光打印機1臺（型號隨HP廠家變更而變更）；
8) 儀器配件箱1個；
9) 電氣控制箱1個；
10) 加壓裝置1套；
11) 產(chǎn)品使用說明書1套；
12) 產(chǎn)品合格證、保修卡1套；
13) 免費保修1年。
可選配置：
1） 干涉物鏡：2.5×、5×、20×、50×、100×；
2） 影像系統(tǒng)：2048×2048；
3） 操作手柄1個；
4） T形槽圓形旋轉工作臺；
九、交貨與驗收
1、 交貨
1）交貨期：合同生效后60個工作日內。
2）交貨地點：免費快遞到需方的交貨地點。
2、 安裝與培訓
1）我公司負責在用戶現(xiàn)場對設備行進安裝和調試；
2）在設備安裝調試時對買方技術人員進行理論、實際操作及維修等的培訓，使用戶技術人員掌握設備操作，能熟練使用設備進行檢定工作，保證設備正常運行并能排除設備的一般故障和特殊保養(yǎng)。
3、 驗收
1）驗收標準：以合同及技術協(xié)議為準。
2）驗收項目：核對該設備的主機及附件、工具的數(shù)量及規(guī)格應符合合同技術協(xié)議及設備使用說明書的要求；核對該設備的使用說明書等各類資料是否齊全，是否滿足技術協(xié)議要求。
3）在合同驗收和合同執(zhí)行過程中，如有任何影響設備的性能的漏項和短缺，如設備附件、技術資料、使用手冊、專用工具，備品備件、服務及技術指導等，我公司負責免費將漏項和短缺補齊。
4）驗收合格后，雙方簽定《產(chǎn)品驗收報告》。
5） 產(chǎn)品外觀以實物為準。
十、售后服務
1、 設備質保期
1）驗收合格雙方簽定《產(chǎn)品驗收報告》后12個月內；
2）在質保期內發(fā)生的故障，其故障部分質保期自修復之日起順延。
2、 售后服務內容
1）質保期內：實行“三包"，用戶所購設備各部件發(fā)生非人為故障，我司免費更換同種品牌不低于原價位、規(guī)格、型號的部件。
2）質保期后：我公司提供持續(xù)的優(yōu)惠服務和技術支持，設備出現(xiàn)故障需要修理時，所換零件按成本價收取。軟件隨國家規(guī)程變更免費升級，硬件優(yōu)惠升級。
3）排故響應時間：我司在接到報障信息后，2小時內回應，我司通過電話、及郵件的方式指導買方排除故障；若故障仍不能排除，將在72小時內上門調試維修排故或用戶將儀器發(fā)回本公司維修。
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