氣體放電與等離子體診斷儀

從而利用該裝置可實(shí)現(xiàn)的主要實(shí)驗(yàn)內(nèi)容有：

1. 氣體放電下放電管的V-I特性

2. 放電管內(nèi)輝光放電外型圖

3. 等離子體分析

通過(guò)上述實(shí)驗(yàn)應(yīng)使學(xué)生充分理解的知識(shí)點(diǎn)包括：

1. 湯生放電原因以及過(guò)程

2. 帕刑定律以及著火電壓

3. 放電管的V-I 特性及原因

4. 輝光放電的外型及解釋

5. 空間電荷及等離子體

6. 等離子體空間電位

7. 等離子體懸浮電位

8. 等離子體密度(電子密度=離子密度)

9. 電子溫度

10. 朗繆爾探針(單探針)進(jìn)行等離子體診斷的理論

主要技術(shù)參數(shù)：

1.設(shè)備尺寸：850×500×1700 mm，可移動(dòng)；

2.電源特性：220V AC，50Hz；

3.總功率：500W；

4.工作壓力范圍：20~80Pa，可調(diào)；

5.放電電流范圍：0~5mA；

6.放電管尺寸：φ35×300mm2；

7.放電電壓范圍：0~1300V；

8.電極：φ30圓盤(pán)電極，304不銹鋼，極間距可調(diào)；

9.朗繆爾探針：φ0.2mm，長(zhǎng)10mm，鎢絲；

10.探針驅(qū)動(dòng)電壓：-100V~100V

11.探針電流：0~1000uA

12.極限真空：<1 Pa，<2 min

13.環(huán)境要求：-30~40℃，干燥清潔