FS-Pro半導體參數測試儀

FS-Pro半導體參數測試儀（I-V測試，C-V測試，1/f噪聲測試）

產品特點

√     一體化測試

FS-Pro™集成直流測試，脈沖測試，瞬態(tài)測試，電容測試和低頻噪聲(1/f 噪聲) 測試于單臺儀器中，無需換線和重新探針即可完成全部低頻參數化表征。

√ 超快速

FS-Pro™引入人工智能驅動測試技術，相比傳統(tǒng)半導體參數測試系統(tǒng)其測試速度可達10倍，在強大速度提升的同時仍保持測試精度。

√ 模塊化架構

FS-Pro™采用模塊化架構，在保持緊湊機身的同時又可依照需求擴展，并且支持多通道并行測試，可達20路通道，輕松應對高密度生產測試。

√ 操作便捷

內置測量控制軟件LabExpress™擁有直觀的用戶圖形界面，僅需點擊幾下鼠標就可以完成強大的測試分析功能，同時可以支持多種探針臺和矩陣開關等設備，輕松完成晶圓級數據的自動測試任務，更針對半導體制造提供了完善的解決方案。

√ 特色的1/f噪聲測試能力

特別對*制程器件，二維材料器件，光電探測器的測試應用，1/f噪聲作為器件的本征重要參數之一，1/f噪聲性能制約著器件的實際應用能力，1/f噪聲廣泛地存在于各種組分和結構的半導體器件中，同時又敏感的反映材料和器件的許多潛在缺陷，因此1/f噪聲的測量和分析成為評估半導體器件質量表征和可靠性的一種新手段。

主要組件性能指標

FS380高精度源測量單元SMU

●   直流測試

±200V/1A 量程，20W輸出功率，最小30fA電流測量精度，30uV電壓測量精度，四象限操作

● 脈沖測試

±200V/3A 量程，480W輸出功率，最小5pA電流測量精度，30uV電壓測量精度，最小脈沖寬度50us

● 瞬態(tài)測試

任意波形輸出，采樣率1.8MS/s，最小10us時間步進

● 電容測試（CV）

±200V/1A 量程，10Hz-10kHz帶寬，20fF~1mF測量范圍

● 1/f噪聲測試

帶寬0.1Hz-100KHz，1e-28A^2⁄Hz 本底噪聲，200V Bias，8s/bias測試速度；

FS336 外置LCR模塊

● 電容測試（CV，CF）

● ±40V量程，40Hz~8MHz帶寬

● 100fF~10mF測量范圍

Labexpress圖形化測試軟件

LabExpress™量測軟件提供完整的直流，脈沖，瞬態(tài)，電容和噪聲測試功能，內建常見MOSFET，BJT，二極管，電阻，電容器件類型庫，測試類型豐富齊全，沒有器件知識的新人也可以輕松上手，更針對半導體晶圓廠的日常應用提供了一整套解決方案。在測試數據分析功能上LabExpress™也毫不遜色，豐富的曲線變換與繪圖功能，常用的代數運算操作，使即時結果分析變得更加簡單。

業(yè)界使用情況

在工業(yè)領域，FS-Pro™已經被多的設計公司和半導體代工廠，IDM和設計公司采用，精度，速度和可靠性通過了嚴苛的工業(yè)認證。在科研領域，FS-Pro™ 已被數十所大學及研究機構所采用，至今已經支持了數十篇學術論文的發(fā)表。低頻噪音作為一種有效的非損傷性實驗手段越來越被學者們認可，FS-Pro™作為的集成噪音測試功能的半導體參數分析儀在前沿新材料新器件研發(fā)工作中越來越*。