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壓力傳感器的分類以及特點(diǎn)
1、擴(kuò)散硅壓力傳感器的特點(diǎn)
擴(kuò)散硅壓力傳感器其工作原理是被測介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷),使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻值發(fā)生變化,和用電子線路檢測這一變化,并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)測量信號(hào)。
2、應(yīng)變片壓力傳感器的特點(diǎn)
力學(xué)傳感器的種類繁多,如電阻應(yīng)變片壓力傳感器、高溫壓力傳感器、半導(dǎo)體應(yīng)高溫壓力變送器變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器及電容式加速度傳感器等。但應(yīng)用為廣泛的是壓阻式壓力傳感器,它具有極低的價(jià)格和較高的精度以及較好的線性特性。
3、藍(lán)寶石壓力傳感器的特點(diǎn)
利用應(yīng)變電阻式工作原理,采用硅- 藍(lán)寶石作為半導(dǎo)體敏感元件,具有*的計(jì)量特性。藍(lán)寶石系由單晶體絕緣體元素組成,不會(huì)發(fā)生滯后、疲勞和蠕變現(xiàn)象;藍(lán)寶石比硅要堅(jiān)固,硬度更高,不怕形變;藍(lán)寶石有著非常好的彈性和絕緣特性(1000 OC 以內(nèi)),因此,利用硅- 藍(lán)寶石制造的半導(dǎo)體敏感元件,對(duì)溫度變化不敏感,即使在高溫條件下,也有著很好的工作特性;藍(lán)寶石的抗輻射特性*;另外,硅- 藍(lán)寶石半導(dǎo)體敏感元件,無防爆壓力變送器p-n 漂移,因此,從根本上簡化了制造工藝,提高了重復(fù)性,確保了高成品率。用硅- 藍(lán)寶石半導(dǎo)體敏感元件制造的壓力傳感器和變送器,可在惡劣的工作條件下正常工作,并且可靠性高、精度好、溫度誤差極小、性價(jià)比高。4、陶瓷壓力傳感器
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