PMON表面沉降粒子檢測(cè)儀的工作原理

檢測(cè)設(shè)備采用一定面積的內(nèi)置玻璃板承載墜落顆粒，玻璃板以45度角放置，這樣墜落的顆粒在玻璃板上沉積的過程就會(huì)被全部檢測(cè)到，APMON檢測(cè)儀對(duì)大于20μm的沉積顆粒的數(shù)量和尺寸以及在傳感器上的分布位置進(jìn)行測(cè)量，通過測(cè)量得出平均顆粒沉積率。

測(cè)量的數(shù)據(jù)能夠幫助解決潔凈室常規(guī)手段監(jiān)控不到的污染成分，并能幫助優(yōu)化用戶的生產(chǎn)流程。

當(dāng)產(chǎn)品突發(fā)性不良率上升時(shí)，首先會(huì)懷疑潔凈室的空氣潔凈度，使用塵埃粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行檢測(cè)是常規(guī)作法。如果測(cè)量結(jié)果正常，就要進(jìn)行更進(jìn)一步的調(diào)查。

通過對(duì)表面潔凈度和粒子沉降的測(cè)量顯示很多顆粒的尺寸大于50μm或100μm，而這些大尺寸顆粒的來源通常是操作者和潔凈室不潔凈的表面，一般尺寸大于25μm的墜落顆粒是不能通過潔凈室空氣循環(huán)系統(tǒng)排出的。

沉降粒子的來源：人員產(chǎn)生粒子、攜帶高濃度粒子、散發(fā)粒子；設(shè)備和物料產(chǎn)塵或表面存在粒子；潔凈室材料表面存在粒子等，通過改善個(gè)人行為、更衣流程、培訓(xùn)、清潔生產(chǎn)加工設(shè)備、清潔工具和潔凈室，可明顯降低不良品率。

APMON表面沉降粒子監(jiān)測(cè)儀主要包括以下部分：

設(shè)備主體     傳感器

玻璃板托盤

APMON表面沉降粒子檢測(cè)儀的工作原理：檢測(cè)設(shè)備采用一定面積的內(nèi)置玻璃板承載墜落顆粒，玻璃板以45度角放置，這樣墜落的顆粒在玻璃板上沉積的過程就會(huì)被全部檢測(cè)到，APMON檢測(cè)儀對(duì)大于20μm的沉積顆粒的數(shù)量和尺寸以及在傳感器上的分布位置進(jìn)行測(cè)量，通過測(cè)量得出平均顆粒沉積率。

測(cè)量的數(shù)據(jù)能夠幫助解決潔凈室常規(guī)手段監(jiān)控不到的污染成分，并能幫助優(yōu)化用戶的生產(chǎn)流程。

APMON表面沉降粒子檢測(cè)儀的工作原理 主要技術(shù)參數(shù)如下