星形大容積微波等離子體系統(tǒng)

HMPS-2100 10KW/2450MHz星形大容積微波等離子體系統(tǒng) 

技術(shù)特點(diǎn)及用途

●  該系統(tǒng)是根據(jù)目前的微波結(jié)構(gòu)理念，設(shè)計(jì)和研制的一套多用途、高穩(wěn)定中等壓強(qiáng)微波等離子體綜    合實(shí)驗(yàn)和加工設(shè)備。它具有工作容積大、性能*、結(jié)構(gòu)*，使用方便、安全可靠、外形美觀，特別    適合應(yīng)用于金剛石、類(lèi)金剛石薄膜等多種材料的化學(xué)汽相沉積（CVD）制備等*領(lǐng)域。●  系統(tǒng)選用10套1kW高穩(wěn)定程控微波功率源（10kW微波功率源）。內(nèi)部單片機(jī)提供方便程控，采用了*    的磁控管燈絲降壓跟蹤技術(shù)，無(wú)電容電感濾波的高精度電壓反饋調(diào)整穩(wěn)定技術(shù)，磁控管水冷技術(shù)，以及    完善的線(xiàn)路安全閉鎖控制系統(tǒng)，使其工作壽命長(zhǎng)，電氣性能優(yōu)良，安全可靠，操作簡(jiǎn)單方便。

●  本系統(tǒng)采用研制的具有特殊結(jié)構(gòu)的微波反應(yīng)腔和多管*分布饋能結(jié)構(gòu)，以及專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的微波抑    制段，并配以大容積石英放電腔。使微波功率集中，放電均勻，并能充滿(mǎn)整個(gè)放電腔，從而達(dá)到快速大    面積沉積薄膜的目的。●  采用專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的真空管路，并配以直聯(lián)式機(jī)械泵前級(jí)抽氣，以及薄膜真空測(cè)控系統(tǒng)。使系統(tǒng)具備有從大    氣到1×10-1Pa的中低壓強(qiáng)和10K~100Kpa的測(cè)量范圍，方便控制和讀數(shù)。

●  采用三路氣體供給和控制系統(tǒng)，內(nèi)置于設(shè)備機(jī)柜中，氣路短、緊湊、控制調(diào)節(jié)方便。 ●  系統(tǒng)采用緊湊簡(jiǎn)潔的主體結(jié)構(gòu)，以及獨(dú)立的控制單元。使整套設(shè)備外形美觀，操作簡(jiǎn)便可靠。